[發(fā)明專利]一種集成電路芯片檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610865243.0 | 申請日： | 2016-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN106226674B | 公開（公告）日： | 2019-01-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李風(fēng)浪;李舒歆 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇前瑞智能系統(tǒng)集成有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;H01L21/66 |
| 代理公司： | 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐東峰 |
| 地址： | 221000 江蘇省徐州市云龍區(qū)徐*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 集成電路 芯片 檢測 裝置 | ||
【說明書】：
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