[發(fā)明專利]一種LC?SLM誤差補償方法及其非球面面型檢測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610865086.3 | 申請日： | 2016-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN106289107A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙自新;肖昭賢;張航瑛;趙宏 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/25 | 分類號： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司61200 | 代理人： | 王萌 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 lc slm 誤差 補償 方法 及其 球面 檢測 | ||
【權(quán)利要求書】：
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