[發明專利]一種引出電極的電極軸驅動裝置

有效

• 申請號: 201610857751.4
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN106409641B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 彭立波;袁衛華;易文杰;鐘新華;胡振東;王迪平;孫雪平
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/30
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008
• 代理人: 周長清,徐好

技術領域

本發明涉及SiC高溫高能離子注入機，尤其涉及一種引出電極的電極軸驅動裝置。

背景技術

SiC作為第三代半導體材料被廣泛用于制作新一代高效節能的電力電子器件，涉及國民經濟的各個領域。SiC高溫高能離子注入機的作用就是把要摻雜元素的離子加速，使獲得很大動能的雜質離子直接進入SiC晶片中的晶格，離子注入后進行退火激活。首先由送入離子源弧室的氣體電離產生等離子體，引出電極將帶正電荷的離子從弧室中吸引出，從而形成離子束流。當在相對于弧室為低電壓的引出電極上加負高壓時，等離子體中的帶正電荷的離子束流就會被引出電極吸出，當加在引出電極與弧室間的高壓不變，而引出電極相對于弧室的面向位置平行度改變使，吸出的帶正電的離子束流在垂直傳輸方向會發生改變，極大地影響離子束流的傳輸效率。

專利文獻CN 104392882A公開了一種離子注入機的引出電極驅動裝置，其第一伺電機通過第一帶輪組件帶動少齒寬面小齒輪轉動，少齒寬面小齒輪轉動時通過與其嚙合的多齒窄面大齒輪帶動電極軸轉動；第二伺服電機通過第二帶輪組件帶動滾珠絲杠轉動，滾珠絲杠的轉動轉換為絲杠螺母的上下滑動，絲杠螺母通過多齒窄面大齒輪帶動電極軸升降運動。由于該離子注入機的引出電極驅動裝置采用兩級齒輪嚙合的方式帶動電極軸旋轉，調節精度較差，齒輪旋轉一圈轉動角度過大，不能實現微小角度的調節，且無法實現連續調節。

發明內容

本發明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單、能實現連續調節和微小角度調節的引出電極的電極軸驅動裝置。

為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案：

一種引出電極的電極軸驅動裝置，包括電機、主動帶輪、從動帶輪及繞設于主動帶輪和從動帶輪上的傳動帶，所述電機的輸出軸與所述主動帶輪的輪軸連接，還包括連續調節組件，所述連續調節組件包括凸輪、擺桿及用于使擺桿的擺動端與凸輪緊貼的彈性件，所述凸輪安裝于所述從動帶輪的輪軸上，所述擺桿安裝于引出電極的電極軸上。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述擺桿上開設有凹槽并于凹槽內安裝軸承，所述軸承的外圈與所述凸輪形成切線接觸。

所述擺桿一端為環狀并套設于所述電極軸上，另一端與所述彈性件連接，所述凹槽位于擺桿中段。

所述從動帶輪的輪軸上裝設有單圈旋轉電位器。

所述電機上裝設有多圈旋轉電位器。

所述主動帶輪的直徑小于從動帶輪的直徑。

所述彈性件為彈簧。

所述電機為伺服電機。

與現有技術相比，本發明的優點在于：本發明公開的引出電極的電極軸驅動裝置，在電極軸上安裝擺桿，擺桿的擺動端與凸輪緊貼，凸輪旋轉時克服彈性件的彈力作用即可帶動擺桿擺動，擺桿進而帶動電極軸旋轉，結構簡單、可靠，能實現電極軸旋轉角度的連續調節，調節精度高，特別適用于微小角度的調節。

附圖說明

圖1是本發明引出電極的電極軸驅動裝置實施例一的立體結構示意圖。

圖2是本發明引出電極的電極軸驅動裝置實施例一另一角度的立體結構示意圖。

圖3是本發明中的連續調節組件的結構示意圖。

圖4是本發明引出電極的電極軸驅動裝置實施例二的立體結構示意圖。

圖5是本發明引出電極的電極軸驅動裝置實施例二的主視結構示意圖。

圖中各標號表示：1、電機；2、主動帶輪；3、從動帶輪；4、傳動帶；5、連續調節組件；51、凸輪；52、擺桿；521、凹槽；53、彈性件；531、掛鉤；54、軸承；6、引出電極；61、電極軸；71、單圈旋轉電位器；72、多圈旋轉電位器；8、安裝塊；9、安裝座。

具體實施方式

以下將結合說明書附圖和具體實施例對本發明做進一步詳細說明。

實施例一