[發明專利]一種用于觸摸屏和太陽能電池領域的ITO旋轉靶材的常壓燒結方法

有效

• 申請號: 201610855528.6
• 申請日: 2016-09-28
• 公開（公告）號: CN106631049B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 陸映東;黃誓成;武建良;黃作
• 申請（專利權）人: 廣西晶聯光電材料有限責任公司
• 主分類號: C04B35/64
• 分類號: C04B35/64;C04B35/457
• 代理公司: 柳州市榮久專利商標事務所(普通合伙) 45113
• 代理人: 韋微

1.一種用于觸摸屏和太陽能電池領域的ITO旋轉靶材的常壓燒結方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）將由化學共沉淀法得到的氧化銦和氧化錫質量比例為93:7、95:5或97:3的ITO粉，摻入一定量的PVA造粒，摻入的PVA質量為ITO粉質量的1.5～2.5%；將造粒后的ITO粉，裝入管狀柔性模具中，以200～400MPa的壓力進行冷等靜壓成型，并對成型后的管狀素坯進行機加工，得到形狀規則的管狀ITO素坯；

（2）將機加工后的管狀ITO素坯放入燒結爐進行脫脂和氧氣氣氛常壓燒結，得到相對密度為98.5～99.4%的旋轉ITO靶材；管狀ITO素坯放入燒結爐進行脫脂和氧氣氣氛常壓燒結的具體操作如下：0～600度為脫脂溫度段，升溫速率為0.1～0.5度/分鐘，并在600度保溫1～2小時；脫脂溫度段，通空氣，氣流量為10～20升/分鐘；脫脂溫度段結束后，停止通空氣，以0.3～0.45度/分鐘升溫至1200～1400度，在1200～1400度保溫1～3小時，然后再用0.3～0.45度/分鐘升溫至1600～1650度，保溫8～12小時后，以0.5～0.75度/分鐘的降溫速度降溫至室溫；升溫至800～1000度時，開始通入氧氣，氧氣流量為20～30升/分鐘，保持通氧氣至溫度開始下降，并降至1000～800度以下時，停止通入氧氣。

2.根據權利要求1所述的一種用于觸摸屏和太陽能電池領域的ITO旋轉靶材的常壓燒結方法，其特征在于：由化學共沉淀法所得ITO粉的比表面積為15～25m²/g。

3.根據權利要求1所述的一種用于觸摸屏和太陽能電池領域的ITO旋轉靶材的常壓燒結方法，其特征在于：冷等靜壓時，最高壓力保壓時間為10～40分鐘，卸壓速率為5～20MPa/分鐘。