[發明專利]一種雙柵極鰭式場效應晶體管形成方法及其結構有效
| 申請號： | 201610854723.7 | 申請日： | 2016-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN106298942B | 公開（公告）日： | 2019-05-14 |
| 發明（設計）人： | 鮑宇 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;陳慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柵極 場效應 晶體管 形成 方法 及其 結構 | ||
【說明書】：
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