[發明專利]基于數字微鏡的大動態激光遠場焦斑測量系統及測量方法有效
| 申請號： | 201610854324.0 | 申請日： | 2016-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN106248353B | 公開（公告）日： | 2019-08-06 |
| 發明（設計）人： | 袁索超;李紅光;達爭尚 | 申請（專利權）人： | 中國科學院西安光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 陳廣民 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 數字 動態 激光 遠場焦斑 測量 系統 測量方法 | ||
【說明書】：
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