[發(fā)明專利]含硅層停止型添加劑有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610853254.7 | 申請日: | 2016-09-26 |
| 公開(公告)號: | CN106566412B | 公開(公告)日: | 2022-09-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | M·施滕德爾;M·G·格雷漢姆 | 申請(專利權(quán))人: | 弗薩姆材料美國有限責(zé)任公司 |
| 主分類號: | C09G1/02 | 分類號: | C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司: | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人: | 吳亦華;徐志明 |
| 地址: | 美國亞*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 含硅層 停止 添加劑 | ||
【權(quán)利要求書】:
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