[發明專利]具有方位角與徑向分布控制的多區域氣體注入組件有效
| 申請號： | 201610852971.8 | 申請日： | 2014-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN106304597B | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發明（設計）人： | Y·羅森佐恩;K·坦蒂翁;I·優素福;V·克尼亞齊克;B·基廷;S·巴納 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H05H1/34 | 分類號： | H05H1/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 金紅蓮 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 方位角 徑向 分布 控制 區域 氣體 注入 組件 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于應用材料公司，未經應用材料公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610852971.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：向照明單元的光施加動態顏色方案的方法
- 下一篇：印刷電路板及其制造方法
