[發明專利]壓電薄膜、壓電薄膜元件、壓電致動器、壓電傳感器、硬盤驅動器以及噴墨打印頭有效
| 申請號： | 201610852628.3 | 申請日： | 2016-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN106972097B | 公開（公告）日： | 2019-11-12 |
| 發明（設計）人： | 廣瀬維子;大槻史朗 | 申請（專利權）人： | TDK株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/09 | 分類號： | H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 楊琦;黃浩 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 薄膜 元件 致動器 傳感器 硬盤驅動器 以及 噴墨 打印頭 | ||
1.一種壓電薄膜，其特征在于：
在將(K,Na)NbO3作為主成分的壓電薄膜中，在規定范圍的觀察視野內觀察所述壓電薄膜的表面的情況下，在所述壓電薄膜的表面上排列有沿著該表面朝向第1方向具有細長形狀的多個第1結晶、沿著所述表面朝向與所述第1方向相交叉的第2方向具有細長形狀的多個第2結晶，
所述第1結晶的長邊長度的平均值和所述第2結晶的長邊長度的平均值均為2μm以下。
2.如權利要求1所述的壓電薄膜，其特征在于：
表示所述第1結晶的長邊長度相對于短邊長度的比的第1長徑比的平均值為2以上，表示所述第2結晶的長邊長度相對于短邊長度的比的第2長徑比的平均值為2以上。
3.如權利要求2所述的壓電薄膜，其特征在于：
所述第1長徑比的平均值和第2長徑比的平均值均為2以上且15以下。
4.如權利要求1～3中任意一項所述的壓電薄膜，其特征在于：
在規定范圍的觀察視野內觀察所述壓電薄膜的表面的情況下，所述第1結晶以及第2結晶所占的總面積比為70％以上。
5.如權利要求1～3中任意一項所述的壓電薄膜，其特征在于：
在規定范圍的觀察視野內觀察所述壓電薄膜的表面的情況下，所述第1結晶的數量α和第2結晶的數量β中的α的比例α/(α+β)為0.3以上且0.7以下。
6.如權利要求1～3中任意一項所述的壓電薄膜，其特征在于：
在所述壓電薄膜中進一步包含Ta、Mn、Zr中的至少一者。
7.一種壓電薄膜元件，其特征在于：
包含權利要求1～6中任意一項所述的壓電薄膜和夾住該壓電薄膜的一對電極層。
8.一種壓電致動器，其特征在于：
使用了權利要求7所述的壓電薄膜元件。
9.一種壓電傳感器，其特征在于：
使用了權利要求7所述的壓電薄膜元件。
10.一種噴墨打印頭，其特征在于：
具備權利要求8所述的壓電致動器。
11.一種硬盤驅動器，其特征在于：
具備權利要求8所述的壓電致動器。
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