[發明專利]一種可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子有效
| 申請號: | 201610851460.4 | 申請日: | 2016-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN106622878B | 公開(公告)日: | 2020-01-17 |
| 發明(設計)人: | 王雪飛;丁琨 | 申請(專利權)人: | 中國科學院大學 |
| 主分類號: | B05C11/00 | 分類號: | B05C11/00 |
| 代理公司: | 11388 北京市中聞律師事務所 | 代理人: | 蔣玉 |
| 地址: | 100049 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 實時 圖像 拍攝 旋涂儀 轉子 | ||
1.一種可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子,其特征在于,所述可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子設置有底座;所述底座固定在電動機轉軸上,由電動機帶動旋轉;
攝像頭通過支架固定在底座的上方;
所述支架上固定有光源;
所述攝像頭以無線方式向計算機傳輸數據并接受控制,用于實時觀察膠液變化;
所述攝像頭將數據存儲在自帶的存儲器內;
所述攝像頭前安裝有一微距光學鏡頭;
所述攝像頭前安裝有一顯微鏡物鏡;
所述攝像頭與底座間的距離可調;
所述底座和支架的材質是鋁合金、不銹鋼、聚四氟乙烯、有機玻璃中的任意一種;
所述光源是LED貼片,與攝像頭共用一個電源;
所述可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子,實現對高速旋轉的載片上膠液的展開、離心、濃縮、結晶一系列行為進行圖像拍攝和實時監控。
2.一種安裝有權利要求1所述可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子的旋涂儀。
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