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[發明專利]一種可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子有效

專利信息
申請號: 201610851460.4 申請日: 2016-09-27
公開(公告)號: CN106622878B 公開(公告)日: 2020-01-17
發明(設計)人: 王雪飛;丁琨 申請(專利權)人: 中國科學院大學
主分類號: B05C11/00 分類號: B05C11/00
代理公司: 11388 北京市中聞律師事務所 代理人: 蔣玉
地址: 100049 北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 實時 圖像 拍攝 旋涂儀 轉子
【權利要求書】:

1.一種可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子,其特征在于,所述可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子設置有底座;所述底座固定在電動機轉軸上,由電動機帶動旋轉;

攝像頭通過支架固定在底座的上方;

所述支架上固定有光源;

所述攝像頭以無線方式向計算機傳輸數據并接受控制,用于實時觀察膠液變化;

所述攝像頭將數據存儲在自帶的存儲器內;

所述攝像頭前安裝有一微距光學鏡頭;

所述攝像頭前安裝有一顯微鏡物鏡;

所述攝像頭與底座間的距離可調;

所述底座和支架的材質是鋁合金、不銹鋼、聚四氟乙烯、有機玻璃中的任意一種;

所述光源是LED貼片,與攝像頭共用一個電源;

所述可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子,實現對高速旋轉的載片上膠液的展開、離心、濃縮、結晶一系列行為進行圖像拍攝和實時監控。

2.一種安裝有權利要求1所述可實時圖像拍攝的旋涂儀轉子的旋涂儀。

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