[發明專利]用于光刻的罩面層組合物和方法有效
| 申請號： | 201610851432.2 | 申請日： | 2016-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN106556972B | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 洪昌英;E-H·柳;M-K·張;D-Y·金 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料韓國有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/11 | 分類號： | G03F7/11;G03F7/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陳哲鋒;胡嘉倩 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 光刻 面層 組合 方法 | ||
【權利要求書】：
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