[發明專利]一種高電子遷移率晶體管及制備方法在審
| 申請號： | 201610851407.4 | 申請日： | 2016-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN106158954A | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 蔣苓利;沈忱;于洪宇;李濤;紀冬梅 | 申請（專利權）人： | 南方科技大學;蘇州珂晶達電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/778 | 分類號： | H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 518000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電子 遷移率 晶體管 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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