[發明專利]半導體裝置結構在審
| 申請號： | 201610850027.9 | 申請日： | 2016-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN106558602A | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發明（設計）人： | 莊紹勛;謝易叡;趙堉斌;潘正圣 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/417 | 分類號： | H01L29/417;H01L29/739 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司72003 | 代理人： | 馮志云,王芝艷 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 結構 | ||
【說明書】：
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