[發(fā)明專(zhuān)利]尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法及其測(cè)量裝置、以及標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610849586.8
• 申請(qǐng)日: 2016-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107014858B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 橫山雄一郎;萩野健;栗山豊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社三豐
• 主分類(lèi)號(hào): G01N25/16
• 分類(lèi)號(hào): G01N25/16;G01B3/02
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法，將尺寸標(biāo)準(zhǔn)器作為測(cè)量對(duì)象物，測(cè)量所述測(cè)量對(duì)象物的從第1表面到第2表面的部分的線(xiàn)膨脹系數(shù)，所述測(cè)量對(duì)象物的第1表面和第2表面沿所述測(cè)量對(duì)象物的延伸方向分開(kāi)，其特征在于，

在所述尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法中，準(zhǔn)備：

標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)，其具有與所述第1表面以及所述第2表面相對(duì)應(yīng)的第1基準(zhǔn)表面以及第2基準(zhǔn)表面，并且從所述第1基準(zhǔn)表面到所述第2基準(zhǔn)表面的長(zhǎng)度已知；

恒溫槽，其能夠容納所述測(cè)量對(duì)象物以及所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)，并且能夠調(diào)整內(nèi)部溫度，且在測(cè)量用表面上具有測(cè)量用開(kāi)口；

測(cè)量對(duì)象物支承臺(tái)，其設(shè)置在所述恒溫槽的內(nèi)部而支承所述測(cè)量對(duì)象物；

標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)支承臺(tái)，其設(shè)置在所述恒溫槽的內(nèi)部而支承所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)；

三維測(cè)量機(jī)，能從所述測(cè)量用開(kāi)口向所述恒溫槽的內(nèi)部導(dǎo)入該三維測(cè)量機(jī)的測(cè)量探針，

所述測(cè)量對(duì)象物支承臺(tái)包括測(cè)量對(duì)象物第1支承臺(tái)以及測(cè)量對(duì)象物第2支承臺(tái)，

所述測(cè)量對(duì)象物第1支承臺(tái)以及所述測(cè)量對(duì)象物第2支承臺(tái)分別限制所述測(cè)量對(duì)象物的與所述延伸方向交叉的兩個(gè)方向的位移，并且允許所述測(cè)量對(duì)象物的以與所述延伸方向交叉的兩個(gè)方向作為中心軸進(jìn)行的轉(zhuǎn)動(dòng)，

所述測(cè)量對(duì)象物第1支承臺(tái)以及所述測(cè)量對(duì)象物第2支承臺(tái)中的任一方限制所述測(cè)量對(duì)象物的沿所述延伸方向的位移，并且任意另一方允許所述測(cè)量對(duì)象物的沿所述延伸方向的位移，

所述測(cè)量對(duì)象物第1支承臺(tái)以及所述測(cè)量對(duì)象物第2支承臺(tái)中的任一方限制所述測(cè)量對(duì)象物的以所述延伸方向作為中心軸進(jìn)行的轉(zhuǎn)動(dòng)，并且任意另一方允許所述測(cè)量對(duì)象物的以所述延伸方向作為中心軸進(jìn)行的轉(zhuǎn)動(dòng)，并且

所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)支承臺(tái)包括標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第1支承臺(tái)以及標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第2支承臺(tái)，

所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第1支承臺(tái)以及所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第2支承臺(tái)分別限制所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的與所述延伸方向交叉的兩個(gè)方向的位移，并且允許所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的以與所述延伸方向交叉的兩個(gè)方向作為中心軸進(jìn)行的轉(zhuǎn)動(dòng)，

所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第1支承臺(tái)以及所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第2支承臺(tái)的任一方限制所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的沿所述延伸方向的位移，并且任意另一方允許所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的沿所述延伸方向的位移，

所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第1支承臺(tái)以及所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)第2支承臺(tái)的任一方限制所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的以所述延伸方向作為中心軸進(jìn)行的轉(zhuǎn)動(dòng)，并且任意另一方允許所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的以所述延伸方向作為中心軸進(jìn)行的轉(zhuǎn)動(dòng)，

在所述恒溫槽的內(nèi)部將所述測(cè)量對(duì)象物以及所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)支承為平行，

將所述恒溫槽的內(nèi)部溫度設(shè)為第1溫度，將從所述第1基準(zhǔn)表面到所述第2基準(zhǔn)表面的長(zhǎng)度作為基準(zhǔn)，比較測(cè)量從所述第1表面到所述第2表面的長(zhǎng)度，

將所述恒溫槽的內(nèi)部溫度設(shè)為第2溫度，將從所述第1基準(zhǔn)表面到所述第2基準(zhǔn)表面的長(zhǎng)度作為基準(zhǔn)，比較測(cè)量從所述第1表面到所述第2表面的長(zhǎng)度，

根據(jù)所述第1溫度下的從所述第1表面到所述第2表面的長(zhǎng)度和所述第2溫度下的從所述第1表面到所述第2表面的長(zhǎng)度，算出所述測(cè)量對(duì)象物的線(xiàn)膨脹系數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法，其特征在于，

在進(jìn)行所述比較測(cè)量時(shí)，進(jìn)行坐標(biāo)系決定，該坐標(biāo)系決定包括所述第1基準(zhǔn)表面、所述第2基準(zhǔn)表面、所述第1表面以及所述第2表面這幾者的中心坐標(biāo)的計(jì)算；和所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)以及所述測(cè)量對(duì)象物的相對(duì)于所述延伸方向的傾斜的計(jì)算。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法，其特征在于，

所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)支承臺(tái)在所述測(cè)量對(duì)象物的與所述測(cè)量用開(kāi)口相對(duì)的一側(cè)支承所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法，其特征在于，

所述標(biāo)準(zhǔn)量規(guī)的所述延伸方向的長(zhǎng)度比所述測(cè)量對(duì)象物的所述延伸方向的長(zhǎng)度短預(yù)定長(zhǎng)度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的線(xiàn)膨脹系數(shù)測(cè)量方法，其特征在于，

在進(jìn)行所述比較測(cè)量時(shí)，將所述第1基準(zhǔn)表面和所述第1表面配置在同一平面內(nèi)，或者將所述第2基準(zhǔn)表面和所述第2表面配置在同一平面內(nèi)。