[發明專利]一種用于鍺單晶片位錯檢測的腐蝕液及腐蝕方法在審
| 申請號： | 201610849163.6 | 申請日： | 2016-09-23 |
| 公開（公告）號： | CN106567079A | 公開（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發明（設計）人： | 席珍強;曹佳輝;王龍成;金達萊;王卿偉;陳仕天 | 申請（專利權）人： | 中鍺科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/24 | 分類號： | C23F1/24;C30B29/08;C30B33/10;G01N1/32 |
| 代理公司： | 南京先科專利代理事務所(普通合伙)32285 | 代理人： | 繆友菊 |
| 地址： | 211299 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 晶片 檢測 腐蝕 方法 | ||
【說明書】：
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