[發明專利]一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置在審
| 申請號: | 201610845014.2 | 申請日: | 2016-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN106637394A | 公開(公告)日: | 2017-05-10 |
| 發明(設計)人: | 司榮進;王祿寶 | 申請(專利權)人: | 江蘇美科硅能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙)31258 | 代理人: | 陳麗君 |
| 地址: | 212200 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 提高 多晶 底部 溫度 實現 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,屬于多晶鑄錠技術領域。
背景技術
目前G6多晶爐在使用1-2年后,熱場中的保溫材料出現保溫性能衰減的情況,當工藝溫度達到1500度以上的時候,由于保溫性能降低,坩堝底部溫度沒有達到漂料工藝的要求,這樣化料時間需要延長,功耗變大,同時硅液體與石英坩堝底部的石英砂沒有形成良好的浸潤效果,在長晶后晶粒生長的質量較差,所得到的硅片位錯和轉換效率較差。
發明內容
本發明的目的是針對現有技術的缺陷,提供一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,提高多晶鑄錠爐化料階段坩堝底部的溫度,實現G6全熔底部翻料的工藝要求,縮短化料時間降低功耗。
本發明是通過如下的技術方案予以實現的:
一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,包括多晶爐、下保溫板、若干定向凝固塊和隔熱籠,其中,所述多晶爐底部設有凹槽,所述下保溫板置于凹槽內,若干定向凝固塊分布于下保溫板四周,所述定向凝固塊上設有若干螺釘,若干螺釘均勻間隔設置,通過螺釘穿過定向凝固塊和下保溫板實現定向凝固塊和下保溫板相連;
所述定向凝固塊上設有軟氈,所述軟氈外側設有若干凹口,所述凹口與螺釘位置對應,所述隔熱籠底部至于定向凝固塊上,所述隔熱籠底部內壁與軟氈外壁配合,且設有若干凸起,所述凸起與凹口形狀配合。
上述一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,其中,相鄰凹口之間的間距為d1,所述軟氈長度為d2,d1:d2=1:3.8。
上述一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,其中,所述軟氈寬度為d3,d3:d2=1:6.7。
上述一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,其中,所述軟氈上設有若干銷釘,通過銷釘穿過軟氈和定向凝固塊實現軟氈和定向凝固塊相連,所述銷釘外設有護套。
上述一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,其中,所述凹口包括一級凹口和二級凹口,所述一級凹口內壁包括豎直邊和圓弧邊,所述豎直邊位于圓弧邊兩側,且外切于圓弧邊,所述二級凹口位于一級凹槽頂部,且形狀與一級凹槽一致,尺寸大于一級凹槽,所述凸起包括一級凸起和二級凸起,所述一級凸起和二級凸起分別與一級凹槽和二級凹槽形狀配合。
本發明的有益效果為:
通過加裝一層軟氈,由于化料的時候,多晶爐隔熱籠處于零位狀態,通過隔熱籠與軟氈配合,使熱場完全達到封閉的狀態,熱量被控制住不再向外流失,從而提高底部溫度,使硅液體能夠更好的浸潤到坩堝底部的石英砂表層中去。
本發明結構設計合理,拆裝更換方便,軟氈結構比例適宜,有利于將坩堝底部溫度提高8-15℃,化料時間可以縮短3-4h,硅液體與坩堝底部的石英砂形成良好的浸潤效果,晶花大小由10毫米控制到3-5毫米,位錯比例由60%下降至45%,轉換效率提高0.03%。
附圖說明
圖1為本發明結構示意圖。
圖2為本發明A部放大圖。
圖3為本發明隔熱籠與軟氈裝配示意圖。
(圖中,多晶爐1、下保溫板2、定向凝固塊3,隔熱籠4,凹槽5,安裝孔6,銷孔7,螺釘8,軟氈9,凹口10,一級凹口11,二級凹口12,豎直邊13,圓弧邊14,銷釘15,護套16,凸起17,一級凸起18,二級凸起19)。
具體實施方式
下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步說明。
一種用于提高多晶爐底部溫度實現漂料的裝置,包括多晶爐、下保溫板、若干定向凝固塊和隔熱籠,其中,所述多晶爐底部設有凹槽,所述下保溫板置于凹槽內,所述下保溫板上設有若干安裝孔和銷孔,若干定向凝固塊分布于下保溫板四周,所述定向凝固塊上設有若干螺釘,若干螺釘均勻間隔設置,通過螺釘穿過定向凝固塊和下保溫板實現定向凝固塊和下保溫板相連;
所述定向凝固塊上設有軟氈,所述軟氈外側設有若干凹口,所述凹口與螺釘位置對應,相鄰凹口之間的間距為d1為265mm,所述軟氈長度為d2為1010mm,軟氈寬度為d3為150mm,厚度h為5mm,一側凹口至軟氈邊緣的距離d4為182.6mm,所述凹口包括一級凹口和二級凹口,所述一級凹口內壁包括豎直邊和圓弧邊,所述豎直邊位于圓弧邊兩側,且外切于圓弧邊,所述二級凹口位于一級凹槽頂部,且形狀與一級凹槽一致,尺寸大于一級凹槽;
所述軟氈上設有若干銷釘,通過銷釘穿過軟氈和定向凝固塊實現軟氈和定向凝固塊相連,所述銷釘外設有護套;
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