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[發明專利]一種用于冷卻微電子芯片的氣凝膠電滲泵有效

專利信息
申請號: 201610841253.0 申請日: 2016-09-22
公開(公告)號: CN106328615B 公開(公告)日: 2019-01-08
發明(設計)人: 左雨欣;于影;左春檉;何俸華;曹倩倩 申請(專利權)人: 嘉興學院
主分類號: H01L23/473 分類號: H01L23/473
代理公司: 北京翔甌知識產權代理有限公司 11480 代理人: 劉文君
地址: 314001 浙江省嘉興市*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 冷卻 微電子 芯片 凝膠 電滲泵
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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