[發明專利]具有位置測量裝置的X-Y工作臺

有效

• 申請號: 201610839193.9
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN107017179B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 沃爾夫岡·霍爾扎普費爾;約爾格·德雷謝爾;馬庫斯·邁斯納;拉爾夫·約爾格爾;伯恩哈德·默施;托馬斯·卡埃爾貝雷爾
• 申請（專利權）人: 約翰內斯﹒海德漢博士有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;G01B11/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李慧

1.一種具有位置測量裝置的X-Y工作臺，具有工作臺(T1)，所述工作臺布置在載體(T2)上，所述載體相對于固定的地面(G)能在工作臺平面的兩個相互垂直的方向(X，Y)中的一個方向上運動，并且所述工作臺能在所述載體(T2)上在兩個所述方向(X，Y)中的另一個方向上運動，從而使所述工作臺(T1)能總體上在與固定的所述地面(G)平行的平面(X-Y)中定位，其中，為了在兩個所述方向(X，Y)中的每個方向上進行位置測量，掃描頭Ex，Ey分別發送穿過沿著所述工作臺(T1)的邊緣固定的透射的刻度Tx，Ty的光，所述光由相對于布置在所述工作臺(T1)上方的加工工具(L)地點固定的反射的刻度Rx，Ry，Rxy經由所述透射的刻度Tx，Ty反射回到所述掃描頭Ex，Ey，其特征在于，在所述載體(T2)上布置有所述掃描頭Ex，Ey的兩個組GE1，GE2，從而在所述工作臺(T1)的中間部位中使兩個所述組GE1，GE2與所述透射的刻度Tx，Ty配合，然而在所述工作臺(T1)的兩個邊緣部位中僅分別有所述組GE1，GE2中的一個組與所述透射的刻度Tx，Ty配合，所述組GE1，GE2分別包括至少三個所述掃描頭Ex，Ey。

2.根據權利要求1所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，分別由所述掃描頭Ex，Ey中的一個掃描頭進行掃描的所述透射的刻度Tx，Ty和所述的反射的刻度Rx，Ry，Rxy分別相互垂直并且平行于所述工作臺(T1)的運動方向(X，Y)地延伸。

3.根據權利要求1或2所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述組GE1，GE2關于對稱軸線(A)對稱地布置，并且所述組的所述掃描頭Ex，Ey關于所述對稱軸線對稱地布置。

4.根據權利要求3所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述對稱軸線(A)延伸通過所述加工工具(L)的中心。

5.根據權利要求1或2所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述掃描頭Ex，Ey設置用于檢測在垂直于所述工作臺平面(X-Y)的方向(Z)上的、在分別掃描的所述透射的刻度Tx，Ty和所述反射的刻度Rx，Ry，Rxy之間的間距。

6.根據權利要求1或2所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述X-Y工作臺設計用于按行地加工放置在所述工作臺(T1)上的對象(W)，其中，一行的加工在所述工作臺(T1)的掃描運動期間在第一方向(Y)上進行，接著在垂直于所述第一方向的第二方向(X)上實現行跳躍。

7.根據權利要求6所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，承載所述工作臺(T1)的所述載體(T2)相對于所述地面(G)實施所述掃描運動并且在此攜帶所述工作臺(T1)一起實施，并且所述工作臺(T1)相對于所述載體(T2)實施所述行跳躍。

8.根據權利要求7所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述組GE1，GE2和所述組的所述掃描頭Ex，Ey布置為，使得所述工作臺(T1)的所述掃描運動能夠在沒有在所述組GE1，GE2之間進行切換的情況下實施。

9.根據權利要求6所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述工作臺(T1)相對于所述載體(T2)實施所述掃描運動，并且所述載體(T2)相對于所述地面(G)實施所述行跳躍并且在此攜帶所述工作臺(T1)一起實施。

10.根據權利要求9所述的具有位置測量裝置的X-Y工作臺，其特征在于，所述組GE1，GE2和所述組的所述掃描頭Ex，Ey布置為，使得在所述工作臺(T1)的每個所述掃描運動期間都需要在所述組GE1，GE2之間進行切換。