[發明專利]離子束照射裝置

有效

• 申請號: 201610838817.5
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN107104030B
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 高橋直也;藤田秀樹;吉村洋祐;酒井滋樹
• 申請（專利權）人: 日新離子機器株式會社
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

1.一種離子束照射裝置，包括：

離子源；

質量分離器，從由所述離子源引出的離子束中挑選并導出確定的質量和價數的摻雜離子；以及

能量過濾器，形成所述離子束通過的束通過區域，并且通過被施加電壓而成為規定的過濾器電位，利用離子的能量差，區分通過所述束通過區域的通過離子和不通過所述束通過區域的非通過離子，

以使所述通過離子中包含所述摻雜離子并且使所述非通過離子中包含在所述質量分離器中不能與所述摻雜離子區分的不需要的離子的至少一部分的方式設定所述過濾器電位，

所述離子束照射裝置的特征在于，

所述能量過濾器具有三個以上的電極，所述三個以上的電極形成所述離子束通過的開口，并且沿所述離子束的前進方向設置，

所述三個以上的電極中的至少一個所述電極成為所述過濾器電位，其它的所述電極成為比所述過濾器電位低的電位，

配置在兩端的所述電極的電位彼此相等，

所述能量過濾器還具有形狀控制電極，所述形狀控制電極被施加用于控制離子束形狀的形狀控制電壓。

2.根據權利要求1所述的離子束照射裝置，其特征在于，所述能量過濾器配置在所述質量分離器的下游。

3.根據權利要求1所述的離子束照射裝置，其特征在于，

所述離子束照射裝置還包括：

電流檢測部，檢測通過所述能量過濾器的離子束的束電流或流過所述電極的電流；以及

電壓控制部，基于由所述電流檢測部檢測出的電流值，控制所述形狀控制電壓。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的離子束照射裝置，其特征在于，多個所述電極中的一個或多個是構成所述離子束通過的束線的所述能量過濾器，并且兼用作另外的束線構成構件的電極。

5.根據權利要求1至3中任意一項所述的離子束照射裝置，其特征在于，所述電極由具有導電性的非金屬材料構成。

6.根據權利要求1至3中任意一項所述的離子束照射裝置，其特征在于，能夠對向所述能量過濾器施加的電壓進行通斷切換。