[發明專利]蒸鍍掩膜板及其制作方法

有效

• 申請號: 201610837896.8
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN106319447B
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 范波濤;甘帥燕;王水俊;王亞
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本發明涉及一種蒸鍍掩膜板及其制作方法。蒸鍍掩膜板包括：普通金屬掩膜板，具有用于形成顯示屏上有效顯示區域的圖案區域；精密金屬掩膜板，位于普通金屬掩膜板的一側；以及網框，具有第一連接面和位于第一連接面外圍的第二連接面，第二連接面凸出于第一連接面；其中，普通金屬掩膜板固定于第一連接面上，精密金屬掩膜板固定于第二連接面上；或者，精密金屬掩膜板固定于第一連接面上，普通金屬掩膜板固定于第二連接面上。本發明的上述蒸鍍掩膜板可分別對普通金屬掩膜板和精密金屬掩膜板進行張網，二者互不影響。圖案區域在張網拉力的作用下不容易發生形變，可用于蒸鍍各種非矩形的顯示屏。此外，本發明還涉及一種蒸鍍掩膜板的制作方法。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種蒸鍍掩膜板及其制作方法。

背景技術

目前，在制作OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)顯示屏的有機發光層的過程中，利用具有圖案的掩膜板掩膜，并通過真空蒸鍍方式在待蒸鍍基板上形成所需要的圖案。掩膜板包括網板和網框，在將網板與網框結合時需要利用張網裝置使網板在網框上張緊(稱為張網)后，將網板固定在網框上形成所需的掩膜板。

傳統的蒸鍍掩膜板即為精密金屬掩膜板(FMM，Fine Metal Mask)，當需要設置某種形狀的圖案區域時，直接在精密金屬掩膜板上設置圖案區域，然而，當顯示屏的圖案區域為非矩形(例如圓形、多邊形或者其他不規則形狀)時，這樣設置圖案區域之后，在蒸鍍掩膜板的張網過程中，上述圖案區域在張網拉力的作用下很容易發生形變，從而導致蒸鍍的結果并非需要的形狀，不利于應用。

發明內容

基于此，有必要針對傳統的蒸鍍掩膜板在張網過程中圖案區域很容易發生形變的問題，提供一種在張網過程中圖案區域不容易發生形變的蒸鍍掩膜板。

一種蒸鍍掩膜板，包括：

普通金屬掩膜板，具有用于形成顯示屏上有效顯示區域的圖案區域；

精密金屬掩膜板，位于所述普通金屬掩膜板的一側；

以及網框，具有第一連接面和位于所述第一連接面外圍的第二連接面，所述第二連接面凸出于所述第一連接面；

其中，所述普通金屬掩膜板固定于所述第一連接面上，所述精密金屬掩膜板固定于所述第二連接面上；

或者，

所述精密金屬掩膜板固定于所述第一連接面上，所述普通金屬掩膜板固定于所述第二連接面上。

與傳統的蒸鍍掩膜板相比，本發明的上述蒸鍍掩膜板包括普通金屬掩膜板、精密金屬掩膜板以及網框，由于網框的第二連接面凸出于第一連接面，而普通金屬掩膜板和精密金屬掩膜板分別固定于第一連接面或者第二連接面上，因此，可分別對普通金屬掩膜板和精密金屬掩膜板進行張網，二者互不影響。當顯示屏的圖案區域為非矩形時，在蒸鍍掩膜板的張網過程中，圖案區域在張網拉力的作用下不容易發生形變，可用于蒸鍍各種非矩形的顯示屏，有利于應用。

在其中一個實施例中，所述第二連接面凸出于所述第一連接面的高度比固定于所述第一連接面上的普通金屬掩膜板或者固定于所述第一連接面上的精密金屬掩膜板的厚度大10μm～40μm。

在其中一個實施例中，所述普通金屬掩膜板的邊緣焊接在所述第一連接面上，所述精密金屬掩膜板的邊緣焊接在所述第二連接面上；或者

所述精密金屬掩膜板的邊緣焊接在所述第一連接面上，所述普通金屬掩膜板的邊緣焊接在所述第二連接面上。

此外，還提供一種蒸鍍掩膜板的制作方法，包括以下步驟：

提供網框、普通金屬掩膜板以及精密金屬掩膜板，所述網框上具有第一連接面和位于所述第一連接面外圍的第二連接面，所述第二連接面凸出于所述第一連接面，所述普通金屬掩膜板上具有用于形成顯示屏上有效顯示區域的圖案區域；