[發明專利]一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法

有效

• 申請號: 201610837134.8
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN106299031B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 周浪;肖志剛;岳之浩;魏秀琴
• 申請（專利權）人: 南昌大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 南昌市平凡知識產權代理事務所36122
• 代理人: 夏材祥

1.一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：是通過密布多晶帶硅片表面的混合酸溶液微液滴與帶硅表面進行化學反應來刻蝕制絨的方法。

2.如權利要求1所述的一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：所述的混合酸溶液微液滴由混合酸溶液蒸氣在處于一定溫度和與溶液液面間一定距離條件下的帶硅片表面凝結產生。

3.如權利要求1所述的一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：所述的混合酸溶液蒸氣由加熱混合酸溶液產生，加熱溫度為55-80℃。

4.如權利要求1所述的一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：所述的混合酸溶液的體積配比為HNO₃:HF:H₂O =1:0.2-5:0.2-4，HNO₃和HF可分別以不同含水量的硝酸和氫氟酸形式加入。

5.如權利要求1所述的一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：所述的帶硅片與混合酸溶液液面間距離為50～150 毫米。

6.如權利要求1所述的一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：所述的帶硅片溫度控制條件為：起始溫度50-85℃，刻蝕反應時間為0.5-2.5分鐘，反應結束時溫度35-75℃。

7.一種太陽電池用帶硅片的微液滴刻蝕制絨方法，其特征為：具體步驟為：

（1）將帶硅片與混合酸溶液共處于一個密封腔室，其表面間距為50～150 mm，混合酸溶液的體積配比為HNO3:HF:H2O =1:0.2-5:0.2-4；

（2）加熱混合酸溶液至55-80℃，產生腐蝕性蒸氣；

（3）控制帶硅片溫度，使其起始溫度為50-85℃，刻蝕反應結束時溫度處于35-75℃；

（4）使腐蝕性蒸氣在帶硅片表面凝結，刻蝕帶硅片0.5-2.5分鐘，之后將帶硅片退出密封腔室，用質量濃度為1-4％的NaOH水溶液漂洗，再用純水漂洗，烘干，即可在帶硅片表面得所需絨面。