[發(fā)明專利]光順加工的光順區(qū)域的規(guī)劃方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610836418.5
• 申請日: 2016-09-21
• 公開（公告）號: CN106649926B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳麗翔;魏朝陽;邵建達(dá);程鑫
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50;G01B11/24
• 代理公司: 31213 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純;張寧展<國際申請>=<國際公布>

1.一種光順加工的規(guī)劃光順區(qū)域的方法，其特征在于該方法包括如下四個步驟：

1)測量待加工表面：使用ZYGO干涉儀對光學(xué)元件進(jìn)行全口徑面形測量，得到已校正面形傾斜的原始面形圖S(x，y)，其尺寸為M像素×N像素，像素間距為dx米；

2)對原始面形圖S(x，y)進(jìn)行功率譜密度分析：根據(jù)光柵掃描加工的特點(diǎn)，通常在X軸方向或Y軸方向出現(xiàn)明顯中頻誤差，為了表述方便，不妨令有明顯中頻誤差的方向為Y軸方向，而X軸與Y軸垂直；計算一維功率譜密度分布，得到沿Y軸方向的一維功率譜密度曲線，再尋找該功率譜密度曲線上最明顯的尖峰，令此尖峰所對應(yīng)的空間頻率為f₁；

3)基于Fourier級數(shù)提取中頻面形誤差：

首先，將原始面形圖S(x，y)進(jìn)行Fourier級數(shù)展開：

其中，和分別表示非負(fù)整數(shù)和整數(shù)；C_m，n為Fourier系數(shù)，|C_m，n|表示取模或絕對值；ω₁＝2π/T₁和ω₂＝2π/T₂為角頻率，T₁＝M×dx，T₂＝N×dx；P_m，n為正弦波面，其方向和周期分別為和i表示虛數(shù)單位；m∈Z≥0表示m為非負(fù)整數(shù)，n∈Z表示n為整數(shù)；

然后，計算空間頻率f₁所對應(yīng)的正弦波面P_m，n：

由于只提取Y軸方向的中頻誤差，故令m＝0，代入公式計算得n₁＝ROUND(N×dx×f₁)，其中，ROUND()表示四舍五入取整函數(shù)，即所對應(yīng)的正弦波面為

最后，對與正弦波面的方向及周期相近的多個正弦波面進(jìn)行求和，得到要提取的中頻面形誤差；

4)規(guī)劃光順區(qū)域：

分析中頻面形誤差沿Y軸方向的剖面輪廓曲線，計算該曲線上數(shù)值的平均值和標(biāo)準(zhǔn)差Δy，在該剖面輪廓曲線所在坐標(biāo)系上添加與橫軸平行且縱軸坐標(biāo)分別為的三條直線，該剖面輪廓曲線中整體波動范圍超過的部分標(biāo)記為需要光順的區(qū)間，最后參照標(biāo)記的光順區(qū)間在原始面形圖S(x，y)上規(guī)劃出光順區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光順加工的規(guī)劃光順區(qū)域的方法，其特征在于所述的多個正弦波面為求和得提取的中頻面形誤差為