[發明專利]光致抗蝕劑組合物和方法有效
| 申請號： | 201610835727.0 | 申請日： | 2016-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN106556971B | 公開（公告）日： | 2021-01-26 |
| 發明（設計）人： | M-K·張;E-H·柳;洪昌英;D-Y·金 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料韓國有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/038 | 分類號： | G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陳哲鋒;胡嘉倩 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光致抗蝕劑 組合 方法 | ||
【權利要求書】：
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