[發明專利]基于法珀腔的碳化硅基高溫壓力傳感器及其制備方法在審
| 申請號： | 201610834555.5 | 申請日： | 2016-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN106441657A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 苑偉政;馬志波;馬炳和;鄧進軍;張晗;馬騁宇 | 申請（專利權）人： | 西北工業大學 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24;G01L7/08 |
| 代理公司： | 西北工業大學專利中心61204 | 代理人： | 呂湘連 |
| 地址： | 710072 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 法珀腔 碳化硅 高溫 壓力傳感器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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