[發明專利]用于化學機械拋光承載頭的外部夾環

有效

• 申請號: 201610833897.5
• 申請日: 2016-09-20
• 公開（公告）號: CN106965077B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 帕特里克·阿拉;丁博;胡永其;西蒙·亞沃伯格;麥特斯·拉爾森
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27;H01L21/306
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于化學機械拋光承載頭的外部夾環，所述外部夾環包含：

圓柱體，具有上表面、下表面、外圓柱壁和內圓柱壁；和

疏水涂層，設置在所述圓柱體的所述外圓柱壁和所述內圓柱壁上，而所述上表面和下表面不具有設置在其上的疏水層，

其中所述疏水涂層具有在400nm和100nm之間的厚度，并且

其中所述外圓柱壁包含：小于或等于16微英寸的表面粗糙度Ra。

2.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述上表面和下表面具有短于所述內圓柱壁和外圓柱壁的高度的寬度。

3.如權利要求2所述的外部夾環，其中所述上表面和下表面的寬度可小于所述內圓柱壁和外圓柱壁的高度的四分之一。

4.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述圓柱體進一步包含：

薄圓柱帶。

5.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述外圓柱壁上的所述疏水涂層包含：

小于16微英寸的表面粗糙度Ra。

6.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述內圓柱壁包含：

小于或等于16微英寸的表面粗糙度Ra。

7.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述疏水涂層包含：

硅基涂層材料或含碳材料。

8.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述疏水涂層包含：

由羧基硅烷組成的硅基涂層材料。

9.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述疏水涂層包含：

PTFE基涂層材料，所述PTFE基涂層材料選自由全氟烷氧基樹脂(PFA)、氟化乙烯丙烯(FEP)組成的組。

10.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述疏水涂層包含：

含碳材料，所述含碳材料選自由聚對二甲苯(parylene)、氯化線性聚對二甲苯(Parylene C)、線性聚對二甲苯(Parylene N)、交聯聚對二甲苯(Parylene X)、聚醚醚酮和類金剛石碳(DLC)組成的組。

11.如權利要求1所述的外部夾環，其中所述疏水涂層是使用添加劑制造操作、噴霧或浸漬施加。

12.一種用于化學機械拋光承載頭的外部夾環，所述外部夾環包含：

薄圓柱帶，具有上壁、下壁、外圓柱壁和內圓柱壁；和

疏水涂層，設置在所述外圓柱壁和內圓柱壁上而不在所述上壁或下壁上，所述疏水涂層包含硅基涂層材料，

其中所述疏水涂層具有在400nm和100nm之間的厚度，并且

其中所述外圓柱壁包含：小于或等于16微英寸的表面粗糙度Ra。

13.如權利要求12所述的外部夾環，其中所述外圓柱壁上的所述疏水涂層包含：

小于16微英寸的表面粗糙度Ra。

14.如權利要求12所述的外部夾環，其中所述內圓柱壁包含：

大于或等于32微英寸的表面粗糙度Ra。

15.如權利要求12所述的外部夾環，其中所述疏水涂層包含：涂層材料，所述涂層材料選自由羧基硅烷、聚對二甲苯(parylene)、氯化線性聚對二甲苯(Parylene C)、線性聚對二甲苯(Parylene N)、交聯聚對二甲苯(Parylene X)、聚醚醚酮和類金剛石碳(DLC)組成的組。

16.一種承載頭，包含：

主體，具有上表面和下表面，所述主體的所述下表面具有從所述主體延伸的安裝環；

保持環，耦接至所述主體；

柔性膜，在保持環中向內設置且由保持環限定，所述柔性構件具有被配置以接觸保持在所述承載頭中的基板的外側；和

外部夾環，將所述柔性膜固定至所述安裝環，所述外部夾環具有上壁、下壁、內圓柱壁和以定距離間隔的關系面向所述保持環的外圓柱壁，所述內圓柱壁和外圓柱壁涂有疏水涂層，從所述上壁和下壁都省略所述疏水涂層，

其中所述疏水涂層具有在400nm和100nm之間的厚度，并且

其中所述外圓柱壁包含：小于或等于16微英寸的表面粗糙度Ra。