[發明專利]蒸鍍裝置及方法有效
| 申請號: | 201610830421.6 | 申請日: | 2016-09-18 |
| 公開(公告)號: | CN106567043B | 公開(公告)日: | 2021-05-07 |
| 發明(設計)人: | 孫亮 | 申請(專利權)人: | 湖畔光電科技(江蘇)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/26 | 分類號: | C23C14/26;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司: | 北京律遠專利代理事務所(普通合伙) 11574 | 代理人: | 丁清鵬 |
| 地址: | 213200 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 方法 | ||
【說明書】:
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