[發明專利]一種雙面光刻工件臺有效
| 申請號： | 201610827264.3 | 申請日： | 2016-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN106371292B | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發明（設計）人： | 杜婧;趙立新;龔健文;楊春利 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 雙面 光刻 工件 | ||
【權利要求書】：
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