[發明專利]磨削磨輪以及磨削方法

在審

• 申請號: 201610825912.1
• 申請日: 2016-09-14
• 公開（公告）號: CN106985003A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 藤谷涼子;中川義康
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00;B24B53/12;B24B55/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,于靖帥

1.一種磨削磨輪，其對樹脂基板進行磨削，其特征在于，

該磨削磨輪具有：

磨輪基臺，其具有自由端部以及固定于主軸的固定部；

多個磨削磨具，它們固定于該磨輪基臺的該自由端部；以及

磨削水提供口，其對該磨削磨具提供磨削水，

該磨削磨具是利用金屬粘合劑將金剛石磨粒結合而成的分段磨具，并且形成為外周端面從該磨輪基臺的該自由端部側朝向下方傾斜成向旋轉方向外側擴展的形狀，該磨削磨具在該磨輪基臺的該自由端部以規定的間隔呈環狀安裝有多個，

在該磨輪基臺的內周壁上，與各磨削磨具對應地，在連接各磨削磨具與旋轉軸心的線上的各磨削磨具的附近形成有多個磨削水提供口。

2.一種磨削方法，在磨削裝置中使用磨削磨輪對韌性材料基板進行磨削，該磨削裝置具有：

卡盤工作臺，其對韌性材料基板進行保持；

磨削單元，其具有主軸，該主軸將權利要求1所述的磨削磨輪保持為能夠旋轉，該磨削磨輪對該卡盤工作臺上所保持的韌性材料基板進行磨削；

磨削進給單元，其使該磨削單元和該卡盤工作臺相對地在磨削進給方向上接近和遠離；以及

進退單元，其使該磨削單元和該卡盤工作臺相對地在該卡盤工作臺的徑向上移動，

該磨削方法的特征在于，

通過如下的蠕動進給磨削而對韌性材料基板進行磨削：使旋轉的該磨削磨輪相對于該卡盤工作臺上所保持的韌性材料基板相對地進行水平移動。