[發明專利]工件的平面磨削方法和平面磨床

有效

• 申請號: 201610824809.5
• 申請日: 2016-09-14
• 公開（公告）號: CN106881639B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 勇惣一裕;栗岡佳弘
• 申請（專利權）人: 光洋機械工業株式會社
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B1/00;B24B49/02
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所(普通合伙) 11216
• 代理人: 劉淼

本發明的課題在于，能以適度的高負荷有效地對硬脆材料、難削材料、其它工件進行磨削。在通過砂輪而對工件進行平面磨削時，在監視磨削負荷的同時，在磨削負荷上升時，降低砂輪的切入速度，在磨削負荷降低時，增加切入速度。對應于磨削負荷的多個中的各負荷閾值，設定磨削負荷越大，砂輪的切入速度越慢的各切入速度，在以規定速度而開始磨削后，每當磨削負荷上升、下降到規定的負荷閾值時，使砂輪減速、增速到相應的切入速度。

技術領域

本發明涉及對工件進行平面磨削的工件的平面磨削方法和平面磨床。

背景技術

在具有杯型的砂輪的平面磨床中，在磨削用于半導體元件的制造的硅晶片等的硬脆材料的工件時，在監視砂輪軸驅動電動機的負荷電流的同時，以規定的切入速度使砂輪軸的前端的砂輪進行切削，進行旋轉臺上的工件的橫向進給磨削，在因砂輪的孔眼的堵塞使砂輪軸驅動電動機的負荷電流超過規定閾值時，在使砂輪退避、中斷磨削后，再次使砂輪進行切削，與工件接觸，由此促進砂輪的自動磨銳作用(專利文獻1)。

已有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：JP特開2006—35406號公報

發明內容

發明要解決的課題

在這樣的過去的磨削方法中，以規定的切入速度而使砂輪進行切入，另一方面，在磨削中的砂輪中產生孔眼堵塞時，暫時使砂輪退避以中斷磨削，然后，再次使砂輪進行切入，促進砂輪的自動磨銳作用。由此，不能夠在砂輪的磨削效率高的高負荷狀態對工件進行磨削，另外磨削周期變長，難以在短時間以良好的效率對工件進行磨削。

另外，同樣在專利文獻1的磨削法以外的過去的磨削法中，具有在磨削時，使砂輪相對工件以一定的切入速度進行切入的磨削法；對應于砂輪的切入運送量，在依次減速方向改變粗磨削進給、中磨削進給，精磨削進給與進給速度關系的同時，進行磨削的磨削法(在下面稱為“普通磨削法”)。

但是，在前者的磨削法中，在磨削中，砂輪的磨損量與工件的去除量以及砂輪的切入量之間的平衡遭到破壞，磨削負荷急劇地上升，或僅僅砂輪發生磨損，導致難以以良好的效率穩定地在砂輪的磨削效率良好的高負荷狀態對工件進行磨削。

此外，在后者的磨削法中，因下述那樣的理由，無法以良好的效率，穩定地在砂輪的磨削效率良好的高負荷狀態對工件進行磨削。特別是在對硬度高、且脆硬脆材料的工件進行磨削時，由于按照根據砂輪的切入而不處于過負荷狀態的方式改變砂輪的進給速度并對工件進行磨削，故必須使砂輪的切入速度減慢，耗費長的時間進行磨削。

然而，在這樣的硬脆材料的場合，于磨削中多次產生砂輪表面的自動磨銳作用(孔眼替換)，磨削負荷大大地上下變化。其原因在于：相對在自動磨銳作用前，砂輪的切入感差的情況，如果一旦產生砂輪的自動磨銳作用，則砂輪的切刃增加，切入感突然地變得良好。其結果是，由于砂輪和工件的摩擦系數變化，磨削負荷大大地上下變化，故無法以磨削效率良好的高負荷，在短時間，以良好的效率穩定地進行磨削。

另外，因在自動磨銳作用中，摩擦熱的增加造成的砂輪、工件、機械的急劇的熱位移，在許多場合，砂輪軸與旋轉臺的軸向的距離變小。這一點與砂輪的切入速度上升的場合相同，是磨削負荷劇烈地上升的主要原因。另外，如果磨削負荷過度上升，則具有檢測異常的磨削負荷，機械結束加工，或在最差的場合，砂輪、工件損傷，或機械損傷等的危險。

本發明的目的在于，針對這樣的過去的問題，提供工件的平面磨削方法和平面磨床，其中，能以適合的高負荷有效地對硬脆材料、其它工件進行磨削，并且可防止磨削負荷的急劇上升等造成的工件、砂輪以及機械的損傷，另外，可減少砂輪的磨損。

用于解決課題的技術方案

本發明的工件的平面磨削方法涉及下述的方法，在該方法中，在通過砂輪而對工件進行平面磨削時，在監視磨削負荷的同時，伴隨磨削負荷的上升，降低砂輪的切入速度。