[發(fā)明專利]具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610824062.3
• 申請日: 2013-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN107089636B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫志銘;蔡明翰;徐新惠;王維中
• 申請（專利權(quán)）人: 原相科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B81B7/00
• 分類號(hào): B81B7/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 陳肖梅;謝麗娜

1.一種具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件，其特征在于，包含：

一微機(jī)電結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)金屬層，該些金屬層包含一最上金屬層，該最上金屬層包含多個(gè)獨(dú)立金屬段，該些獨(dú)立金屬段分別通過至少一支持柱以連接至相鄰的金屬層，除該最上金屬層外，其余金屬層分別通過至少一支持柱及一介電層而與相鄰的金屬層彼此連接；

一固定結(jié)構(gòu)，連接于該微機(jī)電結(jié)構(gòu)側(cè)方；以及

一電訊號(hào)傳遞線路，位于該微機(jī)電結(jié)構(gòu)下方，其中該微機(jī)電結(jié)構(gòu)產(chǎn)生電訊號(hào)，通過該電訊號(hào)傳遞線路來傳遞，

其中，該微機(jī)電結(jié)構(gòu)的最低金屬層在對(duì)應(yīng)于該電訊號(hào)傳遞線路的上方處、延伸往該固定結(jié)構(gòu)的方向，為連續(xù)而不斷開，且其中該電訊號(hào)傳遞線路不包含金屬層，而是在金屬層以下的位階中以導(dǎo)電材料走線所構(gòu)成，該微機(jī)電結(jié)構(gòu)的最低金屬層與該電訊號(hào)傳遞線間保持一空間。

2.一種具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件，其特征在于，包含：

一微機(jī)電結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)金屬層，該些金屬層包含一最上金屬層與一最低金屬層，該最上金屬層包含多個(gè)獨(dú)立金屬段，該些獨(dú)立金屬段分別通過至少一支持柱以連接至相鄰的金屬層，除該最上金屬層外，其余金屬層分別通過至少一支持柱及一介電層而與相鄰的金屬層彼此連接；

一固定結(jié)構(gòu)，連接于該微機(jī)電結(jié)構(gòu)下方；以及

一電訊號(hào)傳遞線路，位于該微機(jī)電結(jié)構(gòu)下方，其中該微機(jī)電結(jié)構(gòu)產(chǎn)生電訊號(hào)，通過該電訊號(hào)傳遞線路來傳遞，

其中，該微機(jī)電結(jié)構(gòu)具有一挖空區(qū)域，位在該微機(jī)電結(jié)構(gòu)下方、對(duì)應(yīng)于該電訊號(hào)傳遞線路的上方處，且該挖空區(qū)域相較于該固定結(jié)構(gòu)而言較遠(yuǎn)離該微機(jī)電結(jié)構(gòu)的中心點(diǎn)，該最低金屬層不延伸至該電訊號(hào)傳遞線路的上方處，以形成該挖空區(qū)域。