[發明專利]物理量傳感器、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201610822063.4
• 申請日: 2016-09-13
• 公開（公告）號: CN107024203A
• 公開（公告）日: 2017-08-08
• 發明（設計）人: 古畑誠
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5747
• 分類號: G01C19/5747
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司11225
• 代理人: 黃威,蘇萌萌

1.一種物理量傳感器，其特征在于，具有：

基板；

可動板，其以與所述基板對置的方式而配置；

支承部，其對所述可動板進行支承；

梁部，其能夠進行彈性變形，且以將所述可動板設為能夠相對于所述基板而在所述基板的厚度方向上進行位移的方式對所述可動板和所述支承部進行連結；

第一限制部，其位于所述可動板與所述支承部之間，并對所述可動板的向面內方向的位移進行限制。

2.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述第一限制部被設置于所述可動板上。

3.如權利要求2所述的物理量傳感器，其中，

所述可動板在俯視觀察時呈矩形形狀，

所述第一限制部被設置于所述可動板的角部處。

4.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述可動板通過圍繞轉動軸傾倒從而在所述厚度方向上進行位移，并且具有如下部分，即，沿著所述旋轉軸的方向上的寬度沿著從所述旋轉軸遠離的方向而逐漸減少的部分。

5.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述第一限制部被設置于所述支承部上。

6.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，

所述第一限制部被設置于所述基板上。

7.如權利要求1至5中任意一項所述的物理量傳感器，其中，

所述可動板具有相互并列設置的第一可動板和第二可動板，

所述梁部具有對所述第一可動板與所述支承部進行連結的第一梁部、和對所述第二可動板與所述支承部進行連結的第二梁部，

所述物理量傳感器還具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可動板與所述第二可動板之間，并對所述第一可動板以及所述第二可動板的向面內方向的位移進行限制。

8.如權利要求7所述的物理量傳感器，其中，

所述第二限制部被設置于所述基板上。

9.如權利要求2所述的物理量傳感器，其中，

所述可動板通過圍繞轉動軸傾倒從而在所述厚度方向上進行位移，并且具有如下部分，即，沿著所述旋轉軸的方向上的寬度沿著從所述旋轉軸遠離的方向而逐漸減少的部分。

10.如權利要求3所述的物理量傳感器，其中，

所述可動板通過圍繞轉動軸傾倒從而在所述厚度方向上進行位移，并且具有如下部分，即，沿著所述旋轉軸的方向上的寬度沿著從所述旋轉軸遠離的方向而逐漸減少的部分。

11.一種電子設備，其特征在于，

具有權利要求1所述的物理量傳感器。

12.一種移動體，其特征在于，

具有權利要求1所述的物理量傳感器。