[發(fā)明專利]振子、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610821869.1
• 申請(qǐng)日: 2016-09-13
• 公開（公告）號(hào): CN107036590A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古畑誠(chéng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01C19/56
• 分類號(hào): G01C19/56
• 代理公司: 北京金信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11225
• 代理人: 黃威,蘇萌萌

1.一種振子，其特征在于，具有：

基板；

可動(dòng)部；其以與所述基板對(duì)置的方式而配置；

梁部，其能夠彈性變形，并對(duì)所述可動(dòng)部以能夠相對(duì)于所述基板而在所述基板的厚度方向上進(jìn)行位移的方式進(jìn)行支承，

在所述梁部的復(fù)原力大于在所述基板和所述可動(dòng)部之間形成的靜電力的范圍內(nèi)，所述可動(dòng)部向所述基板側(cè)位移。

2.如權(quán)利要求1所述的振子，其中，

在側(cè)視觀察所述基板時(shí)，

當(dāng)將所述靜電力與所述復(fù)原力相等的位置設(shè)為可動(dòng)臨界時(shí)，

所述可動(dòng)部在超過(guò)所述可動(dòng)臨界之前與所述基板接觸。

3.如權(quán)利要求2所述的振子，其中，

與所述基板的和所述可動(dòng)部對(duì)置的面相比，所述可動(dòng)臨界位于與所述可動(dòng)部相反的一側(cè)。

4.如權(quán)利要求1所述的振子，其中，

所述基板具有：

電極，其以與所述可動(dòng)部對(duì)置的方式而配置；

底基板，其對(duì)所述電極進(jìn)行支承。

5.如權(quán)利要求1所述的振子，其中，

所述可動(dòng)部圍繞沿著所述基板的面內(nèi)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸而轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.如權(quán)利要求5所述的振子，其中，

所述可動(dòng)部具有從頂端部起向頂端側(cè)突出的突出部。

7.如權(quán)利要求5所述的振子，其中，

所述基板具有階梯部，所述階梯部被設(shè)置在與所述可動(dòng)部的頂端部對(duì)置的位置處并向與所述可動(dòng)部相反的一側(cè)凹陷。

8.如權(quán)利要求1所述的振子，其中，

在所述基板的能夠與所述可動(dòng)部接觸的部位處，形成有凹凸。

9.如權(quán)利要求2或3所述的振子，其中，

所述基板具有：

電極，其以與所述可動(dòng)部對(duì)置的方式而配置；

底基板，其對(duì)所述電極進(jìn)行支承。

10.如權(quán)利要求2至4中任意一項(xiàng)所述的振子，其中，

所述可動(dòng)部圍繞沿著所述基板的面內(nèi)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸而轉(zhuǎn)動(dòng)。

11.如權(quán)利要求6所述的振子，其中，

所述基板具有階梯部，所述階梯部被設(shè)置在與所述可動(dòng)部的頂端部對(duì)置的位置處并向與所述可動(dòng)部相反的一側(cè)凹陷。

12.如權(quán)利要求2至5中任意一項(xiàng)所述的振子，其中，

在所述基板的能夠與所述可動(dòng)部接觸的部位處，形成有凹凸。

13.一種電子設(shè)備，其特征在于，

具有權(quán)利要求1所述的振子。

14.一種移動(dòng)體，其特征在于，

具有權(quán)利要求1所述的振子。