[發明專利]一種高介電氧化鋯薄膜的低溫溶液制備方法在審
| 申請號： | 201610821755.7 | 申請日： | 2016-09-14 |
| 公開（公告）號： | CN106431397A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 夏國棟;姚書山;王素梅 | 申請（專利權）人： | 齊魯工業大學 |
| 主分類號： | C04B35/48 | 分類號： | C04B35/48;C04B35/622 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 250333 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高介電 氧化鋯 薄膜 低溫 溶液 制備 方法 | ||
【說明書】：
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