[發(fā)明專利]液滴噴出方法、液滴噴出程序以及液滴噴出裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610821312.8
• 申請日: 2016-09-13
• 公開（公告）號: CN107031185A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 酒井寬文
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 舒艷君,李洋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液滴噴出方法、液滴噴出程序以及液滴噴出裝置。

背景技術(shù)

已知有針對作為噴出對象物的例如基板，將包含功能性材料的液體作為液滴從噴墨頭的多個噴嘴噴出到基板的配置區(qū)域，之后進(jìn)行干燥(固化)在配置區(qū)域形成薄膜的噴墨法(或者也稱為液滴噴出法)。作為該薄膜的代表性的例子，能夠列舉作為薄型的顯示設(shè)備的液晶顯示面板的彩色濾光片、有機EL面板的發(fā)光層、半導(dǎo)體設(shè)備的半導(dǎo)體層、金屬布線等。

在噴墨法中，要求將規(guī)定量的液體精度良好地噴出到配置區(qū)域，形成在干燥后具有所希望的膜厚的薄膜。由于噴墨頭的多個噴嘴的每個噴嘴噴出的液滴的噴出量未必恒定具有偏差，所以提出抑制噴嘴間的噴出量的偏差的辦法。

例如，專利文獻(xiàn)1提出了具有基于通過規(guī)定條件的驅(qū)動信號驅(qū)動按每個噴嘴設(shè)置的驅(qū)動元件時的噴出量，將多個噴嘴分類為多個組的A步驟；基于該組所涉及的噴出量的統(tǒng)計值，計算與各組對應(yīng)的驅(qū)動信號的適當(dāng)條件的B步驟；以及按每個噴嘴，從與多個組分別對應(yīng)的驅(qū)動信號的適當(dāng)條件中選擇一個進(jìn)行設(shè)定的C步驟的驅(qū)動信號設(shè)定方法。根據(jù)專利文獻(xiàn)1，即使驅(qū)動信號的設(shè)定條件的種類有限，也能夠根據(jù)噴嘴的特性來選擇適當(dāng)?shù)尿?qū)動信號，所以能夠抑制噴嘴間的噴出量偏差。

另外，例如，專利文獻(xiàn)2提出了當(dāng)使一定個數(shù)的液滴著落于基板的各像素區(qū)域時，將對以多個噴嘴的全部或者一部分的噴嘴為對象預(yù)先得到的噴嘴的一個液滴的平均噴出量乘以要著落的液滴的一定個數(shù)得到的像素平均總體積量、和著落于像素區(qū)域的所選擇的位置的液滴的像素著落總體積量之差限制在一定范圍內(nèi)的噴墨打印方法。根據(jù)專利文獻(xiàn)2，在表示能夠在像素區(qū)域噴出液滴的多個噴嘴、和該多個噴嘴的噴出數(shù)(噴出定時)的著落位置模式中，按照上述像素平均總體積量與像素著落總體積量之差小的方式，基于每個上述多個噴嘴的平均噴出量，來選擇實際使液滴噴出的噴嘴。換句話說，從能夠噴出的多個噴嘴選擇噴嘴以便不容易受到噴嘴間的噴出量偏差的影響。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008－276088號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2015－33657號公報

然而，在上述專利文獻(xiàn)2中，需要能夠針對作為配置區(qū)域的像素區(qū)域噴出液滴的多個噴嘴的噴嘴數(shù)比實際使液滴噴出的噴嘴數(shù)多，若能夠選擇的噴嘴數(shù)不充足則不容易充分發(fā)揮發(fā)明的效果。例如，在對于配置區(qū)域僅能夠選擇一個噴嘴的情況下，存在不能夠應(yīng)用上述專利文獻(xiàn)2的發(fā)明這樣的課題。

另外，如上述專利文獻(xiàn)1那樣，即使針對分組后的噴嘴從多種的驅(qū)動信號中設(shè)定適當(dāng)?shù)尿?qū)動信號，也會在使多個液滴從該噴嘴向配置區(qū)域噴出的情況下，通過驅(qū)動信號的選擇來修正噴出到配置區(qū)域的液滴的總噴出量的效果小，存在不容易以較高的精度實現(xiàn)總噴出量這樣的課題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例實現(xiàn)。

應(yīng)用例

本應(yīng)用例所涉及的液滴噴出方法的特征在于，是進(jìn)行使具有多個噴嘴的噴出頭與噴出對象物對置配置并相對移動的掃描，將液體作為液滴多次從上述多個噴嘴中的至少一個噴嘴噴出到設(shè)于上述噴出對象物的配置區(qū)域的液滴噴出方法，包括：求出以預(yù)先設(shè)定的驅(qū)動條件驅(qū)動上述至少一個噴嘴來進(jìn)行上述多次的噴出的情況下的上述液體的總噴出量的步驟A；求出欲配置到上述配置區(qū)域的上述液體的規(guī)定量與上述總噴出量之差的步驟B；為了修正上述液體的規(guī)定量與上述總噴出量之差，而變更上述多次的噴出中的至少一次的噴出時的上述驅(qū)動條件的步驟C；以及以在上述步驟C變更后的驅(qū)動條件驅(qū)動上述至少一個噴嘴，再次求出進(jìn)行上述多次的噴出的情況下的上述液體的總噴出量的步驟D。

根據(jù)本應(yīng)用例，由于在多次的噴出中的至少一次的噴出中變更驅(qū)動條件，所以能夠修正欲配置到配置區(qū)域的設(shè)計上的液體的規(guī)定量與在步驟A求出的液體的總噴出量之差。例如，能夠提供即使在使用一個噴嘴向配置區(qū)域噴出多個液滴并著落的情況下，也能夠以噴出的液體的總噴出量接近設(shè)計上的規(guī)定量的方式進(jìn)行修正的液滴噴出方法。

在上述應(yīng)用例所記載的液滴噴出方法中，優(yōu)選包括依次重復(fù)進(jìn)行上述步驟C、上述步驟D、上述步驟B，直至上述液體的規(guī)定量與上述總噴出量之差比上述驅(qū)動條件的變更時的液滴的噴出量的修正分辨率小為止的步驟E。

根據(jù)該方法，能夠在液滴的噴出量的修正分辨率的范圍內(nèi)進(jìn)行液體的總噴出量的修正。