[發明專利]氮化鎵基板的生成方法在審
| 申請號： | 201610819653.1 | 申請日： | 2016-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN107053498A | 公開（公告）日： | 2017-08-18 |
| 發明（設計）人： | 平田和也 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人： | 李輝,于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氮化 鎵基板 生成 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種氮化鎵基板的生成方法，將氮化鎵錠生成多個氮化鎵基板，該氮化鎵錠具有第1面和處于該第1面的相反側的第2面，其特征在于，該氮化鎵基板的生成方法具有如下的工序：
界面形成工序，從該第1面將對于氮化鎵具有透過性的波長的激光光線的聚光點定位在氮化鎵錠的內部而進行照射，形成將氮化鎵破壞而使鎵和氮析出的界面；
保持部件粘接工序，將第1保持部件粘接在氮化鎵錠的該第1面上，并且將第2保持部件粘接在該第2面上；以及
氮化鎵基板生成工序，將氮化鎵錠加熱到使鎵發生熔融的溫度，并且使該第1保持部件與該第2保持部件向互相遠離的方向移動，由此從該界面將氮化鎵錠分離而生成氮化鎵基板。
2.根據權利要求1所述的氮化鎵基板的生成方法，其中，
在實施上述界面形成工序之前，將該保持部件粘接工序中的該第2保持部件粘接在該第2面上。
3.根據權利要求1或2所述的氮化鎵基板的生成方法，其中，
在該保持部件粘接工序中，針對該氮化鎵錠，使用蠟將該第1保持部件粘接在該第1面上并且將該第2保持部件粘接在該第2面上，其中，所述蠟在比鎵發生熔融的溫度高的溫度下發生熔融。
4.根據權利要求1所述的氮化鎵基板的生成方法，其中，
該氮化鎵基板的生成方法實施如下的磨削工序：對析出于該界面并形成在通過氮化鎵基板形成工序而分離的氮化鎵基板的分離面上的鎵面進行磨削而去除。
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