[發明專利]一種碳化硅結勢壘肖特基二極管及其制作方法有效
| 申請號： | 201610819460.6 | 申請日： | 2016-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN106158985A | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 湯益丹;鄧小川;白云;郭飛;宋凌云;楊成樾 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L29/872 | 分類號： | H01L29/872;H01L21/329;H01L29/24 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 結勢壘肖特基 二極管 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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