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[發明專利]電鍍杯組件中的耐用低固化溫度疏水涂層在審

專利信息
申請號: 201610818924.1 申請日: 2016-09-12
公開(公告)號: CN107043953A 公開(公告)日: 2017-08-15
發明(設計)人: 亞倫·貝爾克;桑托斯·庫馬爾;蔡利平;羅伯特·拉什 申請(專利權)人: 朗姆研究公司
主分類號: C25D17/00 分類號: C25D17/00
代理公司: 上海勝康律師事務所31263 代理人: 李獻忠,楊學春
地址: 美國加利*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 電鍍 組件 中的 耐用 固化 溫度 疏水 涂層
【權利要求書】:

1.一種用于在抓斗組件內的電鍍過程中嚙合晶片并在電鍍過程中提供電流給所述晶片的杯組件,所述杯包括:

杯底,所述杯底被設定尺寸以保持所述晶片并且包括主體部分和徑向向內突出的表面,其中所述杯底的至少所述主體部分包括涂覆有固體潤滑劑涂層的非導電材料;

彈性體密封件,所述彈性體密封件被布置在所述徑向向內突出的表面上,其中所述彈性體密封件在被所述晶片施壓時抵靠所述晶片密封以限定所述晶片的外圍區域,在電鍍過程中電鍍液被實質上阻止進入所述外圍區域;以及

電觸頭元件,所述電觸頭元件被布置在所述彈性體密封件上或鄰近所述彈性體密封件,其中所述電觸頭元件在所述彈性體密封件抵靠所述晶片密封時在所述外圍區域中接觸所述晶片使得在電鍍過程中所述電觸頭元件能提供電功率給所述晶片。

2.根據權利要求1所述的杯組件,其中所述固體潤滑劑涂層在比所述非導電材料的熔化溫度低的溫度下是能固化的。

3.根據權利要求1所述的杯組件,其中所述固體潤滑劑涂層在介于約350°F和約500°F之間的溫度下是能固化的。

4.根據權利要求1所述的杯組件,其中所述固體潤滑劑涂層是疏水性的。

5.根據權利要求1所述的杯組件,其中所述固體潤滑劑涂層包含粘合劑聚合物和潤滑劑聚合物。

6.根據權利要求5所述的杯組件,其中所述粘合劑聚合物包含PES和PPS中的至少一種,并且所述潤滑劑聚合物包括PTFE、FEP和PFA中的至少一種。

7.根據權利要求5所述的杯組件,其中所述粘合劑聚合物在所述固體潤滑劑涂層的固化溫度下熔化,并且所述潤滑劑聚合物在所述固體潤滑劑涂層的固化溫度下不熔化。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的杯組件,其中所述杯底的全部或基本上全部由所述非導電材料制成。

9.根據權利要求1-7中任一項所述的杯組件,其中所述徑向向內突出的表面包括涂覆有所述固體潤滑劑涂層的所述非導電材料。

10.根據權利要求1-7中任一項所述的杯組件,其中所述杯底的所述非導電材料包括聚合材料。

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