[發明專利]單晶硅制絨設備的清洗方法有效
| 申請號： | 201610816829.8 | 申請日： | 2016-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN106367815B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 湯歡;張東升;寇繼成;李拯宇;王靜;李青娟;甄云云 | 申請（專利權）人： | 英利能源（中國）有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C23G1/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產權事務所 13120 | 代理人： | 王占華 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 設備 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
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