[發明專利]曝光方法在審
| 申請號： | 201610815835.1 | 申請日： | 2016-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN106292199A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發明（設計）人： | 王軒;李秀妍 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 方法 | ||
【說明書】：
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