[發(fā)明專利]具有即時力和薄膜應(yīng)力控制的基板支撐件

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610815239.3
• 申請日: 2016-09-09
• 公開（公告）號: CN107039325A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小溫德爾·格倫·博伊德;戈文達(dá)·瑞澤;馬修·詹姆斯·巴斯徹
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

1.一種基板支撐件，所述基本支撐件包含：

定位盤，所述定位盤包含：

工件支撐表面；和

氣孔，所述氣孔被形成為通過所述工件支撐表面；以及

被設(shè)置在所述氣孔中的傳感器組件，所述傳感器組件經(jīng)配置以檢測一度量，所述度量指示出設(shè)置在所述工件支撐表面上的工件的偏折，其中所述傳感器組件經(jīng)配置以當(dāng)被定位在所述氣孔中時允許氣體流過所述傳感器組件。

2.如權(quán)利要求1所述的基板支撐件，其中所述傳感器組件包含：

多孔傳感器外殼；以及

設(shè)置在所述傳感器外殼中的傳感器。

3.如權(quán)利要求2所述的基板支撐件，其中所述傳感器包含：

傳感器頭，所述傳感器頭經(jīng)對準(zhǔn)垂直于所述工件支撐表面而誤差在+/-3度之內(nèi)。

4.如權(quán)利要求2所述的基板支撐件，其中所述傳感器外殼包含：

大約1個到大約100個或更多的孔洞，所述大約1個到大約100個或更多的孔洞經(jīng)配置以允許氣體流過所述傳感器組件。

5.如權(quán)利要求2所述的基板支撐件，其中所述傳感器外殼包含：

安裝頭，所述安裝頭被設(shè)置在所述傳感器周圍；以及

裂口墊板，所述裂口墊板被設(shè)置在所述安裝頭下方且經(jīng)配置以將所述傳感器頭定位在所述工件支撐表面下方。

6.如權(quán)利要求5所述的基板支撐件，其中所述安裝頭包含：

接口連接于所述安裝頭的針銷，并且所述針銷將所述安裝頭以一方位定位在所述裂口墊板中，所述方位將所述安裝頭中的孔洞對準(zhǔn)所述裂口墊板中的孔洞。

7.如權(quán)利要求1所述的基板支撐件，其中所述傳感器組件離所述工件支撐表面的頂端大約小于大約30mm。

8.如權(quán)利要求7所述的基板支撐件，其中所述傳感器組件離所述工件支撐表面的頂端大約小于大約5mm。

9.如權(quán)利要求1所述的基板支撐件，其中所述工件支撐表面進(jìn)一步包含：

凸部、凹槽、通道、或其它幾何形狀中的一種或多種。

10.如權(quán)利要求9所述的基板支撐件，其中所述傳感器組件離所述凸部的頂端小于大約100mm。

11.如權(quán)利要求10所述的基板支撐件，其中所述傳感器組件離所述凸部的頂端大約小于大約5mm。

12.如權(quán)利要求1所述的基板支撐件，其中所述傳感器組件包含：

基于光纖的傳感器。

13.如權(quán)利要求12所述的基板支撐件，其中所述基于光纖的傳感器是法布里培洛(Fabry-Pérot)傳感器。

14.一種處理腔室，所述處理腔室包含：

腔室主體，所述腔室主體包圍腔室內(nèi)容積；以及

基板支撐件，所述基板支撐件被設(shè)置在所述腔室內(nèi)容積中，所述基板支撐件包含：

定位盤，所述定位盤包含：

工件支撐表面；以及

氣孔，所述氣孔被形成為通過所述工件支撐表面；以及

被設(shè)置在所述氣孔中的傳感器組件，所述傳感器組件經(jīng)配置以檢測一度量，所述度量指示出設(shè)置在所述工件支撐表面上的工件的偏折，其中所述傳感器組件經(jīng)配置以當(dāng)被定位在所述氣孔中時允許氣體流過所述傳感器組件。

15.如權(quán)利要求14所述的處理腔室，其中所述傳感器組件包含：

多孔傳感器外殼；以及

設(shè)置在所述傳感器外殼中的傳感器。

16.如權(quán)利要求15所述的處理腔室，其中所述傳感器包含：

傳感器頭，所述傳感器頭經(jīng)對準(zhǔn)垂直于所述工件支撐表面而誤差在+/-3度之內(nèi)。

17.如權(quán)利要求15所述的處理腔室，其中所述傳感器外殼包含：

大約1個到大約100個或更多的孔洞，所述大約1個到大約100個或更多的孔洞經(jīng)配置以允許氣體流過所述傳感器組件。

18.如權(quán)利要求15所述的處理腔室，其中所述傳感器外殼包含：

安裝頭，所述安裝頭被設(shè)置在所述傳感器周圍；以及

裂口墊板，所述裂口墊板被設(shè)置在所述安裝頭下方且經(jīng)配置以將所述傳感器頭定位在所述工件支撐表面下方。