[發(fā)明專利]磁頭滑塊的加工測試方法、加工測試監(jiān)控裝置及加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610814757.3
• 申請日: 2016-09-09
• 公開（公告）號: CN107808675B
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李文杰;陳建倫;傅之浩;余枝超;余俊杰;謝珉;梁卓榮;丁菊仁
• 申請（專利權(quán)）人: 新科實業(yè)有限公司
• 主分類號: G11B5/127
• 分類號: G11B5/127;G05B15/02
• 代理公司: 深圳永慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44378
• 代理人: 宋鷹武

1.一種磁頭滑塊的加工測試方法，其特征在于，包括：

提供至少一個應(yīng)力傳感器于晶圓中，以及提供控制裝置與所述應(yīng)力傳感器連接；

利用加工裝置將所述晶圓加工成磁頭滑塊，所述控制裝置在磁頭滑塊加工過程中監(jiān)控所述應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)以確定當(dāng)前加工參數(shù)是否合適，并在當(dāng)前加工參數(shù)不合規(guī)格時，向所述加工裝置發(fā)出調(diào)整信號，所述加工裝置根據(jù)所述調(diào)整信號調(diào)整加工參數(shù)，其中，所述磁頭滑塊加工過程包括：

形成晶圓，并在晶圓形成工序中在晶圓上形成磁頭滑塊元件及應(yīng)力傳感器；

將晶圓切成多個塊體，繼而將每一塊體切成多個長形條；

對長形條進(jìn)行研磨而將長形條切割成多個獨立的磁頭滑塊。

2.如權(quán)利要求1所述的加工測試方法，其特征在于，所述應(yīng)力傳感器還包括用于監(jiān)控所述磁頭的飛高的熱力傳感器。

3.如權(quán)利要求1所述的加工測試方法，其特征在于，所述應(yīng)力傳感器的制造材料選自鎳、銅、鉻、鉬、鐵、錳、鉑、銥、鋁中的一種或多種。

4.如權(quán)利要求1所述的加工測試方法，其特征在于，所述應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)包括所述應(yīng)力傳感器的電阻值。

5.如權(quán)利要求1所述的加工測試方法，其特征在于，所述應(yīng)力傳感器包括第一應(yīng)力傳感器和第二應(yīng)力傳感器，其中，第一應(yīng)力傳感器設(shè)置于靠近磁頭滑塊中的讀頭，第二應(yīng)力傳感器設(shè)置于磁頭滑塊的預(yù)設(shè)參考點，所述控制裝置根據(jù)第一應(yīng)力傳感器和第二應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)差異來確定加工參數(shù)是否符合規(guī)格。

6.如權(quán)利要求1所述的加工測試方法，其特征在于，在樣品測試時，所述應(yīng)力傳感器進(jìn)行至少兩次測量，所述控制裝置根據(jù)兩次測量結(jié)果的差異來確定該樣品是否符合規(guī)格。

7.如權(quán)利要求1所述的加工測試方法，其特征在于，在樣品測試時，設(shè)置控制群，分別對樣品和控制群進(jìn)行應(yīng)力傳感器的至少兩次測量，所述控制裝置根據(jù)樣品的基于控制群的補(bǔ)償?shù)膬纱螠y量結(jié)果的差異來確定該樣品是否符合規(guī)格。

8.一種用于權(quán)利要求1-7任一項所述的加工測試方法的磁頭滑塊加工測試監(jiān)控裝置，其特征在于，包括：監(jiān)控單元和與所述監(jiān)控單元連接的控制單元；其中，

所述監(jiān)控單元，與用以加工成磁頭滑塊的晶圓中的應(yīng)力傳感器連接，用于監(jiān)控在磁頭滑塊加工過程中所述應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)；

所述控制單元，用于根據(jù)所述應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)以確定用于加工所述磁頭滑塊的加工裝置的當(dāng)前加工參數(shù)是否合適，并在當(dāng)前加工參數(shù)不合規(guī)格時，向所述加工裝置發(fā)出調(diào)整信號以指示所述加工裝置調(diào)整加工參數(shù)。

9.如權(quán)利要求8所述的加工測試監(jiān)控裝置，其特征在于，所述應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)包括所述應(yīng)力傳感器的電阻值。

10.一種用于權(quán)利要求1-7任一項所述的加工測試方法的磁頭滑塊加工設(shè)備，其特征在于，包括：

加工裝置，用于將晶圓加工成磁頭滑塊，所述晶圓中含有至少一個應(yīng)力傳感器；

控制裝置，與所述晶圓中的應(yīng)力傳感器連接，用于監(jiān)控在磁頭滑塊加工過程中所述應(yīng)力傳感器的性能參數(shù)以確定加工裝置的當(dāng)前加工參數(shù)是否合適，并在當(dāng)前加工參數(shù)不合規(guī)格時，向所述加工裝置發(fā)出調(diào)整信號；

所述加工裝置根據(jù)所述調(diào)整信號對加工參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。