[發明專利]增強MEMS微鏡抗變能力的方法在審
| 申請號： | 201610813342.4 | 申請日： | 2016-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN106249403A | 公開（公告）日： | 2016-12-21 |
| 發明（設計）人： | 陳目語;沈文江;余暉俊;王婷婷;徐閏 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務所(普通合伙)31205 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 增強 mems 微鏡抗變 能力 方法 | ||
【說明書】：
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