[發明專利]物理量傳感器、物理量傳感器裝置、電子設備以及移動體在審
| 申請號： | 201610810585.2 | 申請日： | 2016-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN106841682A | 公開（公告）日： | 2017-06-13 |
| 發明（設計）人： | 小溝公一郎 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知識產權代理有限公司11225 | 代理人： | 蘇萌萌,許梅鈺 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物理量 傳感器 裝置 電子設備 以及 移動 | ||
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具有：
基板；
可動部，其被配置成能夠相對于所述基板進行位移；
電極，其被設置于所述基板的所述可動部側，且與所述可動部對置配置；
導電部，其被設置于所述可動部的所述基板側，且與所述電極對置配置，
所述電極與所述導電部的功函數差為0.4eV以下。
2.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，
所述電極以及所述導電部為相同材料。
3.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，
所述可動部具有：
第一可動部，其位于一側；
第二可動部，其位于另一側，且在施加有所述基板與所述可動部的排列方向的加速度時的轉矩大于所述第一可動部，
所述第一可動部以及所述第二可動部相對于所述基板進行蹺蹺板式擺動。
4.如權利要求3所述的物理量傳感器，其中，
所述電極具有：
第一電極，其與所述第一可動部對置配置；
第二電極，其與所述第二可動部對置配置。
5.如權利要求1所述的物理量傳感器，其中，
所述可動部具有：
基部，其能夠相對于所述基板而沿著所述可動部的面內方向進行位移；
可動電極部，其以從所述基部突出的方式被設置。
6.如權利要求5所述的物理量傳感器，其中，
所述電極與所述可動部為相同電位。
7.如權利要求2所述的物理量傳感器，其中，
所述可動部具有：
第一可動部，其位于一側；
第二可動部，其位于另一側，且在施加有所述基板與所述可動部的排列方向的加速度時的轉矩大于所述第一可動部，
所述第一可動部以及所述第二可動部相對于所述基板進行蹺蹺板式擺動。
8.如權利要求7所述的物理量傳感器，其中，
所述電極具有：
第一電極，其與所述第一可動部對置配置；
第二電極，其與所述第二可動部對置配置。
9.如權利要求2所述的物理量傳感器，其中，
所述可動部具有：
基部，其能夠相對于所述基板而沿著所述可動部的面內方向進行位移；
可動電極部，其以從所述基部突出的方式被設置。
10.如權利要求9所述的物理量傳感器，其中，
所述電極與所述可動部為相同電位。
11.一種物理量傳感器裝置，其特征在于，具有：
權利要求1所述的物理量傳感器；
電子部件，其與所述物理量傳感器電連接。
12.一種電子設備，其特征在于，
具有權利要求1所述的物理量傳感器。
13.一種移動體，其特征在于，
具有權利要求1所述的物理量傳感器。
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