[發明專利]顯示裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201610809456.1
• 申請日: 2014-11-21
• 公開（公告）號: CN106653685B
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 山崎舜平;大野正勝;安達廣樹;井戶尻悟;武島幸市
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 葉曉勇;姜甜

1.一種顯示裝置的制造方法，所述方法包括如下步驟：

在第一襯底上形成第一有機樹脂層；

在所述第一有機樹脂層上形成第一絕緣膜；

在所述第一絕緣膜上形成包括溝道形成區的晶體管，所述溝道形成區包括氧化物半導體材料；

在所述晶體管上形成第二絕緣膜；

在所述第二絕緣膜上形成發光元件，所述發光元件電連接到所述晶體管；

在所述發光元件上設置第二襯底，所述第二襯底配備有第二有機樹脂層，使得所述第二有機樹脂層設置在所述發光元件與所述第二襯底之間；

使用第一激光經所述第一襯底照射所述第一有機樹脂層；

在使用所述第一激光的所述照射后，從所述第一有機樹脂層分離所述第一襯底；

在從所述第一有機樹脂層分離所述第一襯底后，將第一柔性襯底與所述第一有機樹脂層貼合；

使用第二激光經所述第二襯底照射所述第二有機樹脂層；

在使用所述第二激光的所述照射后，從所述第二有機樹脂層分離所述第二襯底；以及

在從所述第二有機樹脂層分離所述第二襯底后，將第二柔性襯底與所述第二有機樹脂層貼合。

2.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，

其中，所述第一有機樹脂層和所述第二有機樹脂層各包括環氧樹脂、丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺樹脂和聚酰胺－酰亞胺樹脂中的至少一個。

3.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，

其中，所述第一激光和所述第二激光各從準分子激光器裝置發射。

4.根據權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，

其中，一邊使用所述第一激光照射所述第一有機樹脂層，一邊將所述第一襯底向一個方向移動。

5.一種顯示裝置的制造方法，所述方法包括如下步驟：

在第一襯底上形成第一有機樹脂層；

在所述第一有機樹脂層上形成第一絕緣膜；

在所述第一絕緣膜上形成包括溝道形成區的晶體管，所述溝道形成區包括氧化物半導體材料；

在所述晶體管上形成第二絕緣膜；

在所述第二絕緣膜上形成發光元件，所述發光元件電連接到所述晶體管；

在所述發光元件上設置第二襯底，所述第二襯底配備有第二有機樹脂層，使得所述第二有機樹脂層設置在所述發光元件與所述第二襯底之間；

使用第一紫外線經所述第一襯底照射所述第一有機樹脂層；

在使用所述第一紫外線的所述照射后，從所述第一有機樹脂層分離所述第一襯底；

在從所述第一有機樹脂層分離所述第一襯底后，將第一柔性襯底與所述第一有機樹脂層貼合；

使用第二紫外線經所述第二襯底照射所述第二有機樹脂層；

在使用所述第二紫外線的所述照射后，從所述第二有機樹脂層分離所述第二襯底；以及

在從所述第二有機樹脂層分離所述第二襯底后，將第二柔性襯底與所述第二有機樹脂層貼合，

其中，所述第一有機樹脂層和所述第二有機樹脂層各包括環氧樹脂、丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺樹脂和聚酰胺－酰亞胺樹脂中的至少一個，以及

其中，所述第一有機樹脂層和所述第二有機樹脂層的各個的厚度小于或等于20μm。

6.根據權利要求1或5所述的顯示裝置的制造方法，

其中，所述第一有機樹脂層和所述第二有機樹脂層各通過使用旋涂法、浸涂法和刮刀涂布法中的任一個來形成。

7.根據權利要求5所述的顯示裝置的制造方法，

其中，所述第一紫外線和所述第二紫外線各從準分子激光器裝置發射。

8.根據權利要求5所述的顯示裝置的制造方法，

其中，一邊使用所述第一紫外線照射所述第一有機樹脂層，一邊將所述第一襯底向一個方向移動。

9.根據權利要求1或5所述的顯示裝置的制造方法，

其中，所述氧化物半導體材料包括銦和鋅。