[發明專利]一種用Matlab計算均勻性的軟件方法

在審

• 申請號: 201610809332.3
• 申請日: 2016-09-08
• 公開（公告）號: CN107808018A
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 王博喜
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種用Matlab計算均勻性的軟件方法，尤其涉及到離子注入機均勻性大量數據的計算。

背景技術

隨著半導體集成電路技術的蓬勃發展，半導體設備升級很快。離子注入機是半導體行業最為復雜和昂貴的設備之一，其在穩定性和重要參數方面都需要滿足不斷增長的工藝需求。均勻性是影響離子注入機的一個重要性能之一，影響均勻性的要素有很多，但均勻性在軟件層面上的計算也至關重要。

均勻性的參數需要根據菜單數據和實際打片數據來實時調整，以適應不同環境，這涉及到大量重復的數據計算，限于計算機操作軟件的計算能力，還需要專門計算海量數據的軟件---MATLAB，本設計巧妙的將設備應用軟件和MATLAB結合以達到大量數據計算的需求，這樣不僅提高了軟件的靈活性，也提高了運行速度。

發明內容

本發明時針對離子注入機器在軟件上計算均勻性相關數據，而開發出的一種用Matlab計算均勻性的軟件方法。

本發明通過以下技術方案實現：

1.一種用Matlab計算均勻性的軟件方法，包括Matlab生成的DLL文件(1)、主程序函數(2)、動態庫Transfer文件、均勻性計算函數(3)、返回結果(4)。

2.一種用Matlab計算均勻性的軟件方法，首先根據RECIPE數據、利用MATLAB寫出計算相關調節均勻性參數的函數，在生成動態庫文件備用，在離子注入機操作軟件平臺VS上再寫一個動態庫函數，通過調用MATLAB動態庫函數達到計算的目的。其中VS和MATLAB兩種操作軟件的接口函數至關重要，有固定的調用獲取函數，還要注意如果用數組，兩種操作軟件的行和列不是對應的，需要置換一下才可以使用，不然會出錯。

本發明具有如下顯著優點：

1.一種用Matlab計算均勻性的軟件方法，Matlab與VS相結合，增加程序的靈活性；

2.一種用Matlab計算均勻性的軟件方法，用Matlab來計算超大數據量的計算，速度快；

3.一種用Matlab計算均勻性的軟件方法，程序中用了動態鏈接庫，節省了磁盤空間和內存。

附圖說明

圖1為Matlab函數應用流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖1對本發明作進一步的介紹，但不作為對本發明的限定。

如圖1所示，在這之前必須先配置好系統環境變量和VS的屬性設置(1)，用Matlab生成的動態庫函數中會有一個初始化函數(2)，程序運行時必須先調用初始化函數，返回成功后才能成功調用計算函數(3)，Matlab函數的參數包含輸入參數和返回參數，所以在調用Matlab函數之前必需先定義好Matlab所需要的特定的數組(4)mwArray，例如：

mwArray Full_Tune_status(1，1，mxDOUBLE_CLASS)；

而且MATLAB的輸入參數必須是一維數組，如果給定的數組是二維或者三維的必須轉化成一維數組才可使用，調用完MATLAB函數之后必須注意的是MATLAB返回的數組行和列與VS定義數組的行列是相反的，一定要更正過來，不然數據會出錯。

當程序運行時，需要把不同的菜單不同的參數反復的輸入給Matlab函數進行運算，根據計算結果(5)調整菜單及硬件的相應參數，以確保均勻性在一定范圍內滿足打片工藝需求。

本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。