[發明專利]單晶硅晶片在審
| 申請號： | 201610807979.2 | 申請日： | 2012-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN106192000A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 星亮二;松本克;鐮田洋之;菅原孝世 | 申請（專利權）人： | 信越半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B15/20;C30B33/10;G01N21/956;H01L21/02 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艷 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 晶片 | ||
【權利要求書】：
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