[發明專利]光刻裝置、圖案形成方法和用于制造產品的方法有效
| 申請號： | 201610803515.4 | 申請日： | 2016-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN106527052B | 公開（公告）日： | 2019-12-10 |
| 發明（設計）人： | 山田雅教 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G01B11/245;G01B11/02 |
| 代理公司： | 11038 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 張勁松 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 裝置 圖案 形成 方法 用于 制造 產品 | ||
【說明書】：
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