[發(fā)明專(zhuān)利]微型流體控制裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610801967.9
• 申請(qǐng)日: 2016-09-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107023457A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳世昌;黃啟峰;韓永隆;廖家淯;陳壽宏;黃哲威;廖鴻信;陳朝治;程政瑋;張英倫;張嘉豪;李偉銘
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F04B43/04
• 分類(lèi)號(hào): F04B43/04
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 喻學(xué)兵

1.一種微型流體控制裝置，包含：

一壓電致動(dòng)器，包括有：

一懸浮板，為正方形的型態(tài)，且可由一中心部到一外周部彎曲振動(dòng)；

一外框，環(huán)繞設(shè)置于該懸浮板之外側(cè)；

至少一支架，連接于該懸浮板與該外框之間，以提供彈性支撐；

一壓電陶瓷板，為正方形的型態(tài)，具有不大于該懸浮板邊長(zhǎng)的邊長(zhǎng)，貼附于該懸浮板的一第一表面上，用以施加電壓以驅(qū)動(dòng)該懸浮板彎曲振動(dòng)；以及一殼體，包括：

一集氣板，為周緣具有側(cè)壁的一框體結(jié)構(gòu)，并于內(nèi)表面更凹陷以構(gòu)成一集氣腔室，用以供該壓電致動(dòng)器設(shè)置于該集氣腔室中；以及

一底座，封閉設(shè)置于該壓電致動(dòng)器的底部，且具有一中空孔洞，該中空孔洞對(duì)應(yīng)于該懸浮板的該中心部而設(shè)置；其中，該集氣板更具有多個(gè)貫穿設(shè)置的貫穿孔，當(dāng)該壓電致動(dòng)器受電壓驅(qū)動(dòng)時(shí)，該懸浮板亦隨的彎曲振動(dòng)，并將流體自該底座的該中空孔洞傳輸至該集氣腔室，再由該多個(gè)貫穿孔排出。

2.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動(dòng)器的該懸浮板具有介于7.5mm至12㎜的邊長(zhǎng)。

3.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動(dòng)器的該懸浮板于一第二表面上具有一凸部。

4.如權(quán)利要求3所述微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板的該凸部高度是介于0.02mm至0.08mm之間。

5.如權(quán)利要求3所述微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板的該凸部為一圓形凸起結(jié)構(gòu)，直徑為該懸浮板的最小邊長(zhǎng)的0.55倍的尺寸。

6.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動(dòng)器的該至少一支架為一板連接部，用以連接該懸浮板與該外框。

7.如權(quán)利要求6所述微型流體控制裝置，其特征在于，該板連接部的兩端部是彼此相對(duì)應(yīng)、且設(shè)置于同一軸線上。

8.如權(quán)利要求6所述微型流體控制裝置，其特征在于，該板連接部是以介于0～45度的斜角連接于該懸浮板與該外框。

9.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動(dòng)器的該至少一支架包括有:

一梁部，設(shè)置于該懸浮板與該外框之間的一間隙中，其設(shè)置的方向是平行于該外框及該懸浮板；

一懸浮板連接部，連接于該梁部與該懸浮板之間；以及

一外框連接部，連接于該梁部與該外框之間，并與該懸浮板連接部彼此相對(duì)應(yīng)、且設(shè)置于同一軸線上。

10.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動(dòng)器的該懸浮板的厚度介于0.1mm至0.4mm之間。

11.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動(dòng)器的該壓電陶瓷板的厚度介于0.05mm至0.3mm之間。

12.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該底座包括一進(jìn)氣板及一共振片，該進(jìn)氣板具有一第一表面及一第二表面，該第二表面上具有至少一進(jìn)氣孔，該至少一進(jìn)氣孔是貫穿至該第一表面上，該第一表面上亦具有至少一匯流排孔，該至少一匯流排孔是與該至少一進(jìn)氣孔相連通且對(duì)應(yīng)設(shè)置，于該至少一匯流排孔的中心交流處是具有一中心凹部，用以將流體由該至少一進(jìn)氣孔輸入并引導(dǎo)至該至少一匯流排孔處，再匯流集中至該中心凹部處，且該中心凹部處是可對(duì)應(yīng)構(gòu)成匯流流體的一匯流腔室，以供流體暫存。

13.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該微型流體控制裝置更具有兩絕緣片及一導(dǎo)電片，且該兩絕緣片是上下夾設(shè)該導(dǎo)電片，并對(duì)應(yīng)設(shè)置于該壓電致動(dòng)器之上，且該兩絕緣片及該導(dǎo)電片的形態(tài)大致上對(duì)應(yīng)于該壓電致動(dòng)器的該外框的形態(tài)。

14.如權(quán)利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該集氣板更具有一基準(zhǔn)表面以及多個(gè)貫穿孔，且該基準(zhǔn)表面上是凹陷設(shè)置一第一卸壓腔室及一第一出口腔室，且該多個(gè)貫穿孔包括一個(gè)第一貫穿孔及至少一個(gè)第二貫穿孔，而第一貫穿孔的一端與該集氣腔室相連通，另一端則分別與該第一卸壓腔室相連通，及該至少一個(gè)第二貫穿孔的一端是與該第一出口腔室相連通，以及在該第一出口腔室處更進(jìn)一步增設(shè)一凸部結(jié)構(gòu)。