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[發明專利]具有深槽和T?POLY結構的溝槽型MOS肖特基整流器及制造方法在審

專利信息
申請號: 201610801864.2 申請日: 2016-09-05
公開(公告)號: CN106328690A 公開(公告)日: 2017-01-11
發明(設計)人: 高耿輝;焦世龍;高秀秀 申請(專利權)人: 廈門集順半導體制造有限公司;廈門元順微電子技術有限公司;友順科技股份有限公司
主分類號: H01L29/06 分類號: H01L29/06;H01L29/872;H01L21/329
代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司35100 代理人: 蔡學俊
地址: 361021 *** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 具有 poly 結構 溝槽 mos 肖特基 整流器 制造 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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