[發明專利]微型流體控制裝置

在審

• 申請號: 201610801746.1
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107023467A
• 公開（公告）日: 2017-08-08
• 發明（設計）人: 陳世昌;黃啟峰;韓永隆;廖家淯;陳壽宏;黃哲威;廖鴻信;陳朝治;程政瑋;張英倫;張嘉豪;李偉銘
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047;F04B39/10;H02N2/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種微型流體控制裝置，包含：

一壓電致動器，包括有：

一懸浮板，為正方形的型態，且可由一中心部到一外周部彎曲振動；

一外框，環繞設置于該懸浮板之外側；

至少一支架，連接于該懸浮板與該外框之間，以提供彈性支撐；

一壓電陶瓷板，為正方形的型態，具有不大于該懸浮板邊長的邊長，貼附于該懸浮板的一第一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動；以及

一殼體，包括：

一集氣板，為周緣具有側壁的一框體結構，并于內表面更凹陷以構成一集氣腔室，用以供該壓電致動器設置于該集氣腔室中；以及

一底座，封閉設置于該壓電致動器的底部，且具有一中空孔洞，該中空孔洞對應于該懸浮板的該中心部而設置；其中，該集氣板更具有多個貫穿設置的貫穿孔，當該壓電致動器受電壓驅動時，該懸浮板亦隨的彎曲振動，并將流體自該底座的該中空孔洞傳輸至該集氣腔室，再由該多個貫穿孔排出。

2.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該懸浮板具有介于4mm至8mm的邊長。

3.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該懸浮板于一第二表面上具有一凸部。

4.如權利要求3所述微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板的該凸部高度介于0.02mm至0.08mm之間。

5.如權利要求3所述微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板的該凸部為一圓形凸起結構，直徑為該懸浮板的最小邊長的0.55倍的尺寸。

6.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該至少一支架為一板連接部，用以連接該懸浮板與該外框。

7.如權利要求6所述微型流體控制裝置，其特征在于，該板連接部的兩端部彼此相對應、且設置于同一軸線上。

8.如權利要求6所述微型流體控制裝置，其特征在于，該板連接部以介于0～45度的斜角連接于該懸浮板與該外框。

9.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該至少一支架包括有:

一梁部，設置于該懸浮板與該外框之間的一間隙中，其設置的方向平行于該外框及該懸浮板；

一懸浮板連接部，連接于該梁部與該懸浮板之間；以及

一外框連接部，連接于該梁部與該外框之間，并與該懸浮板連接部彼此相對應、且設置于同一軸線上。

10.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該懸浮板的厚度介于0.1mm至0.4mm之間。

11.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該壓電陶瓷板的厚度介于0.05mm至0.3mm之間。

12.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該底座包括一進氣板及一共振片，該進氣板具有一第一表面及一第二表面，該第二表面上具有至少一進氣孔，該至少一進氣孔貫穿至該第一表面上，該第一表面上亦具有至少一匯流排孔，該至少一匯流排孔與該至少一進氣孔相連通且對應設置，于該至少一匯流排孔的中心交流處具有一中心凹部，用以將流體由該至少一進氣孔輸入并引導至該至少一匯流排孔處，再匯流集中至該中心凹部處，且該中心凹部處可對應構成匯流流體的一匯流腔室，以供流體暫存。

13.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該微型流體控制裝置更具有兩絕緣片及一導電片，且該兩絕緣片上下夾設該導電片，并對應設置于該壓電致動器之上，且該兩絕緣片及該導電片的形態大致上對應于該壓電致動器的該外框的形態。

14.如權利要求1所述微型流體控制裝置，其特征在于，該集氣板更具有一基準表面以及多個貫穿孔，且該基準表面上是凹陷設置一第一卸壓腔室及一第一出口腔室，且該多個貫穿孔包括一個第一貫穿孔及至少一個第二貫穿孔，而第一貫穿孔的一端與該集氣腔室相連通，另一端則分別與該第一卸壓腔室相連通，及該至少一個第二貫穿孔的一端與該第一出口腔室相連通，以及在該第一出口腔室處更進一步增設一凸部結構。